[发明专利]陶瓷座体微漏自动检测机及其检测方法

权利要求书

1.一种陶瓷座体微漏自动检测机，其特征在于，包括投料部、上料机械手、盒盖机械手、收料机械手、检漏工作部及收料部，检漏工作部包括氦漏质谱仪，投料部用于放置阵列排布的陶瓷底座，上料机械手用于在投料部吸取一排料后移动至检漏工作部，盒盖机械手用于移动至检漏工作部，并能与检漏工作部形成密封腔体，氦漏质谱仪用于检测陶瓷座体的泄漏情况，收料机械手用于吸起检漏工作部中的整排料后按料的检漏合格情况放置在收料部内。

2.根据权利要求1所述的陶瓷座体微漏自动检测机，其特征在于，投料部、收料部安装于一工作平台。

3.一种陶瓷座体微漏自动检测机的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

a、投料部放置阵列排布的陶瓷底座；

b、上料机械手移动至投料部吸取一排料后移动至检漏工作部；

c、上料机械手收回的同时，盒盖机械手移动至检漏工作部形成密封腔体，检漏工作部的氦漏质谱仪吸住陶瓷底座，当达到预设真空值形成真空环境时，由外部电磁阀控制在真空环境外部喷出氦气，氦漏质谱仪检测并确认陶瓷底座的泄漏情况后氦漏质谱仪停止工作，连接密封腔体的真空泵抽走腔体内的氦气，抽气结束；

d、盒盖机械手复位的同时，收料机械手移至检漏工作部，吸起整排料后按料的检漏合格情况放置在收料部的收纳料盒内。