[发明专利]一种镀铂及其合金的高温合金漏板及其制备方法

权利要求书

1.一种镀铂及其合金的高温合金漏板，其特征在于漏板的漏孔内表面以及漏孔上口边缘镀有铂涂层及其合金涂层。

2.依据权利要求书1所述的漏板，其特征在于涂层厚度为5～50μm。

3.依据权利要求书1所述的漏板，其特征在于漏孔为漏斗形状结构，漏孔上端直径大于漏孔下端直径。

4.依据权利要求书1所述的漏板，其特征在于高温合金漏板上有一个孔。

5.依据权利要求书1所述的漏板，其特征在于高温合金漏板上有多个孔。

6.依据权利要求书1所述的漏板，其特征在于涂层为铂。

7.依据权利要求书1所述的漏板，其特征在于涂层为铂合金，其中的合金元素为锆、钽、铪中的一种或多种。

8.依据权利要求书1所述的漏板，其特征在于涂层中的合金以单质形式存在或与铂形成金属间化合物。

9.依据权利要求书1所述的漏板，其特征在于涂层中的合金是氧化锆、氧化钽、氧化铪中的一种或多种。

10.一种镀铂及其合金的高温合金漏板的制备方法，其特征在于包括下述顺序的步骤：

(1)高温合金漏板与铂合金丝放置在真空室中；

(2)真空室内抽真空，内部压力为4×10^-3Pa；

(3)高温合金漏板作为基材，放置在真空室中，漏板孔中心线呈水平线，接直流电压，电压为-300～-400V；

(4)铂丝或铂合金丝作为靶材，穿过漏板孔，并与漏孔中心线平行，接直流电压，电压为-800～-900V；

(5)充氩气至真空系统内，使真空系统内的工作气压达到1～10Pa；

(6)保持1-2小时，关闭电源，打开真空室，取出漏板。