[发明专利]一种掩模板

权利要求书

1.一种掩模板，包括：狭缝状透光区域和不透光区域，其特征在于，所述狭缝状透光区域的边缘呈凸起状。

2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述凸起状为锯齿状或波浪状。

3.根据权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述狭缝状透光区域每一边缘上的任意相邻凸起部分之间的距离相等，所述狭缝状透光区域每一边缘上的任意相邻凹进去部分之间的距离相等。

4.根据权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述狭缝状透光区域的两边缘呈锯齿状，凸起部分的形状为以凸起的角为顶角的等腰三角形，凹进去部分的形状为以凹进去的角为顶角的等腰三角形；或

狭缝状透光区域的两边缘呈锯齿状，凸起部分的形状为以凸起的角为顶角的等腰三角形，凹进去的部分的形状为与等腰三角形共腰的等腰梯形。

5.根据权利要求4所述的掩模板，其特征在于，所述等腰三角形的顶角范围为15°至75°。

6.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述狭缝状透光区域的两边缘镜像对称。

7.根据权利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述狭缝状透光区域的两边缘任意相对凸起部分之间的距离相等；和/或

所述狭缝状透光区域的两边缘任意相对凹进去部分之间的距离相等。

8.根据权利要求7所述的掩模板，其特征在于，两边缘上任意相对两凸起部分之间的距离在1μm至3μm之间，两边缘上任意相对凹进去部分之间的距离为3μm。

9.根据权利要求1-8任一权项所述的掩模板，其特征在于，狭缝状透光区域的每一边缘的两端为凸起状或凹状。

10.根据权利要求9所述的掩模板，其特征在于，当狭缝状透光区域的每一边缘的两端为凸起状时，凸起部分的形状为直角三角形或直角梯形。

11.根据权利要求9所述的掩模板，其特征在于，当狭缝状透光区域每一边缘的两端为凹状时，狭缝状透光区域两边缘的两端相对凸起部分之间的距离小于狭缝状透光区域两边缘中间相对凸起部分之间的距离；或者

狭缝状透光区域所有相对凸起部分之间的距离相等，狭缝状透光区域边缘两端相对凹进去部分之间的距离小于狭缝状透光区域边缘中间相对凹进去部分之间的距离。