[发明专利]可替换齿部的齿轮结构及应用该齿轮结构的薄膜沉积系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种齿轮结构，特别涉及一种可替换齿部的齿轮结构。

背景技术

齿轮是机械结构中经常使用的零件，齿轮可通过齿部带动其它的齿状机械元件，并具有改变转速、扭矩及运动方向等功能。此外由于齿轮还具有传动效率高及传动比准确等优点，使得齿轮被广泛的应用在工业产品上，而齿轮的设计与制造将会直接影响到工业产品的品质。

请参阅图1，为现有行星齿轮装置的前侧示图。现有的行星齿轮装置10包括有一输入轴11、一中央齿轮13、多个行星齿轮15及一齿轮架17。中央齿轮13、行星齿轮15及齿轮架17分别包括有多个齿部131、齿部151及齿部171，其中行星齿轮15环设于中央齿轮13的周围，且行星齿轮15的齿部151分别与中央齿轮13的齿部131及齿轮架17的齿部171相互啮合。

当连接中央齿轮13的输入轴11转动时，将会驱动中央齿轮13转动，而中央齿轮13的齿部131则将力传送至行星齿轮15的齿部151，并驱动行星齿轮15转动，其中行星齿轮15在自转的同时也会环绕中央齿轮13公转。

齿轮主要是通过齿部带动相邻的齿轮或构件，例如中央齿轮13通过齿部131将力传递至行星齿轮15的齿部151，以使得行星齿轮15转动。在经过一段时间的使用后，往往会造成齿轮13/15上部分的齿部131/151损坏，导致齿轮13/15无法继续使用。此时便需要进行整个齿轮13/15的更换，并造成使用及维修成本的增加。

发明内容

本发明的一目的，在于提供一种可替换齿部的齿轮结构，其中齿部设置于齿轮结构的主体部的外缘，并可相对于主体部进行拆卸或组合。当齿轮结构上部分的齿部损坏时，可直接更换损坏的齿部，以省去更换整个齿轮所花费的成本。

本发明的又一目的，在于提供一种应用上述齿轮结构的薄膜沉积系统。薄膜沉积系统的中央齿轮及/或行星齿轮为可替换齿部的齿轮结构，当中央齿轮及/或行星齿轮的齿部损坏时，仅需要更换损坏的齿部，并可降低薄膜沉积系统的使用及维修成本。

为达上述目的，本发明提供一种可替换齿部的齿轮结构，包括：一主体部，包括多个连接座，连接座位于主体部的外缘；及多个齿部，包括一连接端，通过连接端耦合至连接座，每一齿部可固定于主体部上或可相对于主体部进行拆卸。

本发明还提供一种薄膜沉积系统，包括：一载盘，可绕一第一轴旋转；一中央齿轮，其中心位于第一轴上；及多个行星齿轮，以供放置至少一被沉积物，位于载盘上并围绕中央齿轮，并与中央齿轮相互啮合，使得每一行星齿轮可绕一第二轴旋转，且第一轴不同于该第二轴。其中，中央齿轮及/或行星齿轮包括一主体部及多个齿部，且主体部的外缘设置多个连接座，每一齿部包括有一连接端，通过连接端耦合至连接座，每一齿部可固定于主体部上或可相对于主体部进行拆卸。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为现有行星齿轮装置的前侧示图；

图2为本发明第一实施例的可替换齿部的齿轮结构的剖视示意图；

图3为本发明第二实施例的可替换齿部的齿轮结构的剖视示意图；

图4为本发明第三实施例的可替换齿部的齿轮结构的分解示意图；

图5为本发明第四实施例的可替换齿部的齿轮结构的分解示意图；

图6为本发明第五实施例的可替换齿部的齿轮结构的立体示意图；

图7为本发明第六实施例的可替换齿部的齿轮结构的分解示意图；

图8为本发明应用齿轮结构的薄膜沉积系统一实施例的分解示意图；

图9为本发明薄膜沉积系统的部分构件的剖视图；

图10为本发明应用齿轮结构的薄膜沉积系统又一实施例的分解示意图。

虽然已通过举例方式在附图中描述了本发明的具体实施方式，并在本文中对其作了详细的说明，但是本发明还允许有各种修改和替换形式。本发明的附图内容可为不等比例，附图及其详细的描述仅为特定型式的揭露，并不为本发明的限制，相反的，依据专利范围的精神和范围内进行修改、均等构件及其置换均为本发明所涵盖的范围。

其中，附图标记

10行星齿轮装置        11输入轴

13中央齿轮            131齿部

15行星齿轮            151齿部

17齿轮架              171齿部

20齿轮结构            21主体部

211连接座             213第一卡合部