[发明专利]隔板式沉积装置

说明书

技术领域

本发明是与薄膜沉积设备有关，更详而言之是指一种可用于对玻璃基板形成单面薄膜或双面不同薄膜的沉积装置。

背景技术

已知玻璃基板为因应后续工艺而于表面经各种加工方式形成具有设定特性的薄膜结构。其中常见薄膜生成的方式是将玻璃基板直接放入一个具有化学药液的容槽中，再经控制时间与温度而于玻璃基板表面逐渐生成所需的薄膜结构。惟，前述方式将于玻璃基板的两面同时生成有相同结构的薄膜，为此，业者通常必须再施以一道程序以去除玻璃基板其中一面的薄膜，然如此一来，不仅因工艺增加而降低效率，更有增加成本支出之虞。

另外，对于玻璃基板的两面各有不同薄膜结构的特殊需求时，已知的加工方式是先在完成玻璃基板的其中一面的薄膜生成后，再进行另一面的薄膜生成制作。同样地，该多道加工工艺将降低效率并增加成本支出。

发明内容

为解决上述问题，本发明的主要目的在于提供一种隔板式沉积装置，利用具有至少两个沉积室的设计，以对玻璃基板形成单面薄膜或是双面不同薄膜的制作。

缘以达成上述目的，本发明所提供的隔板式沉积装置包含一边框、二玻璃基板与至少一隔板。其中该边框具有一镂空部，且该镂空部于该边框的左、右侧面分别具有一左、右开放端面；该二玻璃基板分设于该边框的左、右侧面，且各别封闭该镂空部的左、右开放端面；该隔板是插设于该边框的镂空部中，且将该镂空部区分为二互不相通的沉积室，该二玻璃基板的一侧表面各别面对一该沉积室。

本发明另提供一种隔板式沉积装置，包含一基座与至少一第一玻璃基板。其中该基座内部具有一封闭空间；该第一玻璃基板设置于该基座的封闭空间中，且将该封闭空间区分为至少两个互不相通的沉积室，该第一玻璃基板的二侧表面分别面对二该沉积室。

由此，利用于基座的封闭空间中所区分出的两个沉积室，以对构成该沉积装置一部分的玻璃基板的一侧表面生成有薄膜结构，或者，在隔板为另一个玻璃基板时，可对该玻璃基板的两面同时生成有不同的薄膜结构。

附图说明

为能达成对玻璃基板生成单面薄膜或是双面不同薄膜的目的，本发明所提供的隔板式沉积装置主要具有至少两个沉积室。以下兹举一较佳实施例并配合附图来说明本发明的隔板式沉积装置，其中：

图1为本发明第一较佳实施例的隔板式沉积装置分解立体图；

图2为图1的隔板式沉积装置的组合立体图；

图3为图2的3-3方向剖视图；

图4为图3的侧视图；

图5为本发明第二较佳实施例的隔板式沉积装置组合立体图；

图6为本发明第三较佳实施例的隔板式沉积装置组合立体图；

图7为本发明第四较佳实施例的隔板式沉积装置组合立体图；

图8类同图4，为本发明第五较佳实施例的隔板式沉积装置的剖视图；

图9为本发明第六较佳实施例的隔板式沉积装置分解立体图；

图10为本发明第七较佳实施例的隔板式沉积装置分解立体图。

具体实施方式

请参阅图1至图3所示，为本发明第一较佳实施例的隔板式沉积装置10，其包括有一基座、二密封件16、二玻璃基板20与一隔板24。

该基座包括有一矩形的边框12与二侧板14。其中：

该边框12所围设的空间定义为一镂空部12a，且镂空部12a于该边框12的左、右侧面分别具有一左、右开放端面；该边框12顶面并具有一长形的插槽12b与该镂空部12a相通；又，请配合图4，该边框12的左、右侧面上分别具有一沿着该镂空部12a外围设置的嵌槽12c，各该嵌槽12c中分别嵌入一该密封件16，且密封件16是具有良好的变形能力。

各该侧板14内面设置有多个凸块14a，所述凸块14a排列呈“凹槽”形，且各凸块14a与侧板14内面之间形成有一夹槽(图未示)；各侧板14内面的夹槽分别供一该玻璃基板20插入其中，亦即玻璃基板20为所述凸块14a所框限定位并且不会晃动。各该侧板14通过至少一定位销22穿过侧板14上的孔14b与边框12上的孔12d，而获得对位且组装于该边框12的左、右侧面，于此同时，各玻璃基板20受到侧板14的挤压而致其一侧表面紧紧压贴于一对应的密封件16上，各玻璃基板20并分别封闭该镂空部12a的左、右开放端面，于此定义，此状态下的镂空部12a形成一封闭空间。又，为提高该边框12与各侧板14彼此间的结合稳固性以确保封闭空间的密闭性，本实施例结构可再选择以螺栓穿过边框12及侧板14并为紧逼，或是以夹具将其等迫紧等方式为之。