[发明专利]隔板式沉积装置

权利要求书

1.一种隔板式沉积装置，包含有：

至少一边框，具有一镂空部，且该镂空部于该边框的左、右侧面分别具有一左、右开放端面；

至少二玻璃基板，分设于该边框的左、右侧面，且各别封闭该镂空部的左、右开放端面；以及

至少一隔板，插设于该边框的镂空部中，且将该镂空部区分为二互不相通的沉积室，该二玻璃基板的一侧表面各别面对一该沉积室。

2.如权利要求1所述的隔板式沉积装置，包括有二侧板，各该侧板的内面与该边框的侧面之间分别设置一该玻璃基板，且各侧板与该边框固接。

3.如权利要求2所述的隔板式沉积装置，包括有至少二密封件，各该密封件设置于一该玻璃基板与该边框的左、右侧面之间，且呈圈绕于该镂空部外侧。

4.如权利要求3所述的隔板式沉积装置，包括有至少一串接框，以及该边框数量为多个，其中，该串接框位于两个边框之间，该二侧板分别位于一该边框的外侧，且于相邻的侧板与边框，及相邻的边框与串接框之间，各别设置一该玻璃基板，同时，于相邻的玻璃基板与边框，及相邻的玻璃基板与串接框之间，各别设置一该密封件。

5.如权利要求3所述的隔板式沉积装置，其中各侧板内面具有至少二凸块，各凸块与该侧板内面之间形成有一夹槽，该玻璃基板插入该二凸块的夹槽中。

6.如权利要求1所述的隔板式沉积装置，其中该边框顶面具有一插槽与该镂空部相通，该隔板自该插槽而插入该镂空部中。

7.如权利要求1所述的隔板式沉积装置，其中该隔板为一玻璃基板。

8.如权利要求1所述的隔板式沉积装置，包括有至少一温控器，该温控器装设于玻璃基板的外侧。

9.如权利要求1所述的隔板式沉积装置，包括有一扰流装置，用以使各该沉积室内的反应物产生紊流效果。

10.一种隔板式沉积装置，包含有：

一基座，其内部具有一封闭空间；

至少一第一玻璃基板，设置于该基座的封闭空间中，且将该封闭空间区分为至少两个互不相通的沉积室，该第一玻璃基板的二侧表面分别面对二该沉积室。

11.如权利要求10所述的隔板式沉积装置，其中该基座包括有至少一边框及二侧板，该边框具有一镂空部，该二侧板分别结合于该边框的两侧，且与该边框围设形成该封闭空间。

12.如权利要求11所述的隔板式沉积装置，包括有至少一第二玻璃基板，该第二玻璃基板设置于一该侧板的内面与该边框侧面之间，且第二玻璃基板的一表面面对一该沉积室。

13.如权利要求12所述的隔板式沉积装置，更包括有至少一串接框与多个密封件，该边框的数量为多个，该第一及第二玻璃基板的数量亦为多个；其中，该串接框位于两个边框之间，该二侧板分别位于一该边框的外侧，且于相邻的侧板与边框之间设置一该第二玻璃基板，于相邻的边框与串接框之间设置一该第一玻璃基板，另，于各玻璃基板与相邻的边框及串接框之间，各别设置一该密封件。

14.如权利要求10所述的隔板式沉积装置，包括有至少一温控器，该温控器装设于该基座外侧，且对应该封闭空间。

15.如权利要求10所述的隔板式沉积装置，包括有一扰流装置，用以使各该沉积室内的反应物产生紊流效果。