[发明专利]一种生长氧化锌晶体的装置

权利要求书

1.一种生长氧化锌晶体的装置，其特征在于：包括加热器（15）和生长室（4），所述生长室（4）设置在真空室（25）内且通过所述加热器（15）加热，所述生长室（4）外设有保温层（1）。

2.如权利要求1所述的生长氧化锌晶体的装置，其特征在于：所述加热器（15）为铱金或二硼化锆导电陶瓷发热体。

3.如权利要求1所述的生长氧化锌晶体的装置，其特征在于：所述生长室（4）为铱金坩埚或二硼化锆陶瓷坩埚或氧化铝陶瓷坩埚。

4.如权利要求3所述的生长氧化锌晶体的装置，其特征在于：所述生长室（4）与所述加热器（15）同轴安装。

5.如权利要求1所述的生长氧化锌晶体的装置，其特征在于：所述保温层（1）由氧化铝材料构成，包括上顶、下底保温垫和内保温桶（10）、外保温桶（8）及其夹层中填充物。

6.如权利要求5所述的生长氧化锌晶体的装置，其特征在于：所述内保温桶（10）、外保温桶（8）为氧化铝陶瓷材料。

7.如权利要求5所述的生长氧化锌晶体的装置，其特征在于：所述保温垫包括氧化铝陶瓷及纤维材料。

8.如权利要求5所述的生长氧化锌晶体的装置，其特征在于：所述氧化铝材料为氧化铝陶瓷及氧化铝纤维材料。

9.如权利要求1-8任一项所述的生长氧化锌晶体的装置，其特征在于：所述真空室（25）为带有冷却水夹层的双层不锈钢真空密封腔体且设有进气口（22）、抽气口（20）及冷却水进入口（21）和冷却水输出口（24）。