[发明专利]薄膜形成装置以及薄膜形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及喷墨方式的薄膜形成装置以及薄膜形成方法。

背景技术

喷墨方式是从作为涂敷头的利用了气泡或者压电元件的喷墨涂敷头每次少量且高精度地排出作为涂敷材料的墨液滴的方式。将通过该墨液滴的高精度的排出向作为涂敷对象的部件涂敷墨液滴的处理装置化了的装置是喷墨涂敷装置。近年，它作为能够实现墨的高精细的涂敷的装置受到瞩目，并不限于对纸的印刷，在所有的产业领域探求其应用可能性，也有已被实用化的装置。

在涂敷头的下面前端以规定的间距设置多个喷嘴，根据该喷嘴的间距决定作为涂敷材料的液滴的排出间隔。由于该喷嘴的间距小，能够按照每个喷嘴个别地管理排出的有无，所以，不需要柔性版印刷法那样的版型，能够进行平面内的自由形状的涂敷。

另一方面，由于调整涂敷材料的粘度，以便能够进行从喷嘴排出液滴，所以，在排出后的基板上产生涂敷材料的润展。因此，一滴液滴和相邻的一滴液滴生成的面形状的稳定性成为问题，尤其是在面形状的最外周的线形状对制作物的品质有很大影响。

例如，专利文献1是通过喷墨头将定向膜材料排出，使之附着在基板上的文献。在进行干燥固化形成定向膜的方法中，表示了向用于做成适合喷墨中的排出的粘度的定向膜材料添加的表面张力调整的溶剂、脱气溶剂。它是欲提高喷墨的排出动作和排出后的基板上的水平性的方法，是就干燥固化而言，作为另外的工序向下一个进行干燥的装置转移的方法（参见非专利文献1）。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：专利第3073493号公报

非专利文献

非专利文献1：岩井善弘·越石健司著《液晶·PDP·有机EL彻底比较》、初版、株式会社工业调查会、2004年7月、P50-58

至此，在要求喷墨方式的涂敷中的高涂敷位置精度、膜厚的均匀性方面，主要着眼于作为目标的涂敷间隔和涂敷头的喷嘴间距的相对的位置关系。

但是，在逐渐将喷墨方式的涂敷在各个领域灵活应用方面，在进行涂敷的时刻的动作的基础上，对从刚刚涂敷后到进行干燥并粘合在基板上为止怎样进行管理也是重要的。

尤其是在应用在液晶玻璃基板的制造的事例中，随着基板大型化的进展，成为怎样的粘合状态变得极其重要。因此，希望通过喷墨方式来管理位置，进行涂敷，迅速进行干燥，以便能够保持被管理的位置。

但是，在非专利文献1所示那样的以往的方法中，在一系列涂敷处理结束后，进行干燥处理。因此，在从涂敷处理开始到设定在干燥装置上，开始干燥处理为止的期间，没有进行干燥处理。因此，存在在到开始干燥处理为止的期间，涂敷在玻璃基板上的液滴运动或因液滴间的重叠而产生的水平在无意的状态下连锁性地产生的可能性。

因此，本发明以提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的薄膜形成装置以及薄膜形成方法为课题。

发明内容

为了解决这样的课题，本发明是一种薄膜形成装置，所述薄膜形成装置具备吸附保持涂敷对象物的吸附工作台、一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在该吸附工作台上的上述涂敷对象物的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头、使该涂敷头在上述涂敷对象物的上方位置移动的龙门架，其特征在于，上述龙门架还具备将上述涂敷对象物的表面加热的热源装置。

发明效果

根据本发明，能够提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的薄膜形成装置以及薄膜形成方法。

附图说明

图1是表示有关本实施方式的薄膜形成装置的结构的立体图。

图2是说明龙门架的背面侧的构造的结构示意图。

图3是头恢复装置的放大图。

图4是说明头恢复装置的动作的示意图。

图5是说明控制部的功能的功能块图。

图6是说明有关本实施方式的薄膜形成装置的薄膜形成方法的流程图。

图7是说明外框涂敷工序的流程图。

图8是说明内面涂敷工序的流程图。

图9是说明有关本实施方式的薄膜形成装置的外框涂敷工序的示意图，（a）表示去路时，（b）表示归路时。

图10是说明有关变形例的薄膜形成装置的龙门架的构造的结构示意图。

图11是说明有关变形例的薄膜形成装置的外框涂敷工序的示意图，（a）表示去路时，（b）表示归路时。

具体实施方式

下面，一面恰当地参照附图，一面详细地说明用于实施本发明的方式（下称“实施方式”）。另外，各图中，对共通的部分标注相同的符号，省略重复的说明。