[发明专利]薄膜形成装置以及薄膜形成方法有效
| 申请号： | 201210182134.0 | 申请日： | 2012-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN102826762A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 德安良纪;山本英明;渡濑直树;松井淳一;中村秀男 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立工业设备技术 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张斯盾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 形成 装置 以及 方法 | ||
1.一种薄膜形成装置，所述薄膜形成装置具备吸附保持涂敷对象物的吸附工作台、
一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在该吸附工作台上的上述涂敷对象物的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头、
使该涂敷头在上述涂敷对象物的上方位置移动的龙门架，其特征在于，
上述龙门架还具备将上述涂敷对象物的表面加热的热源装置。
2.如权利要求1所述的薄膜形成装置，其特征在于，
在与上述涂敷对象物的表面不同的位置，还具备从上述涂敷头将涂敷材排出的排出位置。
3.如权利要求2所述的薄膜形成装置，其特征在于，在上述排出位置
还具备对从上述涂敷头的喷嘴排出的涂敷材进行摄像的摄像装置。
4.一种薄膜形成装置的薄膜形成方法，是具备
吸附保持涂敷对象物的吸附工作台、
一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在该吸附工作台上的上述涂敷对象物的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头、
使该涂敷头在上述涂敷对象物的上方位置移动的龙门架、
被配置在上述龙门架上，并将上述涂敷对象物的表面加热的热源装置的薄膜形成装置的薄膜形成方法，其特征在于，具有
从上述涂敷头的喷嘴向上述涂敷对象物的表面排出涂敷材，形成薄膜的外框的外框涂敷步骤、
由上述热源装置将上述涂敷对象物的表面加热的使涂敷材干燥的外框干燥步骤、
从上述涂敷头的喷嘴向形成在上述涂敷对象物上的上述外框的框内部排出涂敷材，形成薄膜的薄膜涂敷步骤。
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