[发明专利]具有光纤光栅温度补偿的光纤法珀压力传感器及制作方法

权利要求书

1.一种具有温度补偿的光纤法珀压力传感器，包括双芯玻璃传感器体（9）和多模光纤（8），其特征在于，该装置还包括法珀微腔、温度传感元件FBG（7），法珀微腔位于传感器的前端，双芯玻璃传感器体（9）中设置有圆形通孔，将多模光纤（8）和温度传感元件FBG（7）以贯穿形式设置于该圆形通孔，并封装在双芯玻璃传感器体后端，所述温度传感元件FBG（7）上靠近法珀微腔的一段具有FBG栅区（6）。

2.如权利要求1所述的具有温度补偿的光纤法珀压力传感器，其特征在于，所述双芯玻璃传感器体（9）采用同孔双芯传感器体。

3.如权利要求2所述的具有温度补偿的光纤法珀压力传感器，其特征在于，所述同孔双芯传感器体，采用以下两种结构：

第一种法珀微腔结构、所述法珀微腔中，第一单晶硅晶圆片（1）、第一Pyrex玻璃晶圆片（2）、第二单晶硅晶圆片（3）、第二Pyrex玻璃晶圆片（4）从传感器前端向后依序同心叠放设置；第一单晶硅晶圆片（1）、第一Pyrex玻璃晶圆片（2）、第二单晶硅晶圆片（3）构成同心第一圆形通孔（12）、第二单晶硅晶圆片（3）、第二Pyrex玻璃晶圆片（4）构成同心的第二圆形通孔（13）、所述第二圆形通孔（13）与双芯玻璃传感器体（9）中设置的圆形通孔相通，双芯玻璃传感器体（9）形成同孔双芯，同时容纳多模光纤（8）和温度传感元件FBG（7），多模光纤（8）和FBG（7）相邻；

第二种法珀微腔结构、所述法珀微腔中，单晶硅晶圆片（26），Pyrex玻璃晶圆片（27），从传感器前端向后依序同心叠放设置；单晶硅晶圆片（26），Pyrex玻璃晶圆片（27）构成第一圆形浅坑（30），并且所述第一圆形浅坑（30）的下表面贴有反射膜（29），Pyrex玻璃晶圆片（27）中心设置第二圆形浅坑（31），所述第二圆形通孔（13）与双芯玻璃传感器体（9）中设置的圆形通孔相通，容纳多模光纤（8）和温度传感元件FBG（7），双芯玻璃传感器体（9）形成同孔双芯，同时容纳多模光纤（8）和温度传感元件FBG（7），多模光纤（8）和FBG（7）相邻。

4.如权利要求1所述的具有温度补偿的光纤法珀压力传感器，其特征在于，所述双芯玻璃传感器体（9）采用异孔双芯传感器体。

5.如权利要求4所述的具有温度补偿的光纤法珀压力传感器，其特征在于，所述异孔双芯传感器体的结构为：法珀微腔中，所述第二圆形浅坑（31），与所述第二圆形浅坑（31）相通设置一圆形通孔，另外，在双芯玻璃传感器体（9）中偏心设置另一圆形通孔，与第二圆形浅坑（31）相通设置的圆形通孔用于容纳多模光纤（8），双芯玻璃传感器体（9）中偏心设置另一圆形通孔用于容纳温度传感元件FBG（7），双芯玻璃传感器体（9）形成异孔双芯。