[发明专利]一种压电材料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201210172734.9 申请日: 2012-05-29
公开(公告)号: CN102701739A 公开(公告)日: 2012-10-03
发明(设计)人: 陈国超;陈伟 申请(专利权)人: 无锡中科超声技术有限公司
主分类号: C04B35/491 分类号: C04B35/491;C04B35/472;C04B35/499;C04B35/622;C04B35/634;H01L41/187
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 梁晓霏
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 压电 材料 及其 制备 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种压电材料,具体地,本发明涉及一种高压电系数d33、低机械品质因素Qm压电材料及其制备方法。

背景技术

材料从使用性能上可以分为结构材料和功能材料两大类,其中结构材料以其强度、韧性、硬度、弹性等力学特性为应用依据,功能材料以其电、磁、光、声、热等物理性能为基础,用以制作有特殊功能的器件。压电材料是实现机械能与电能相互转换的功能材料,是一类对机、电、声、光、热敏感的电子材料,广泛应用于工业部门和高科技领域。

压电材料分为压电陶瓷、压电晶体和压电复合材料。

BaTiO3是最早发现的压电陶瓷,早在1949年日本就研究利用它的压电性设计鱼群探测器,其最大的缺点是谐频温度特性差。但是用Pb和Ca等元素部分地取代BaTiO3中的Ba,可以改进BaTiO3陶瓷的温度特性,故在广泛使用PZT压电陶瓷的今天,仍有部分压电换能器采用改性的BaTiO3压电陶瓷。像BaTiO3那样的单元系压电陶瓷,还有PbTiO3和PbZrO3等。PbTiO3陶瓷是一种钙钛矿结构的材料,它具有居里温度高(490℃)、各向异性(c/a=1.064)和介电常数小(ε=200)等特点。另外,它的谐频温度特性也比较好,并且频率常数比PZT高,所以是一种很有前途的高温高频压电材料。但是用常规方法很难获得致密的纯PbTiO3压电陶瓷,所以人们往往采用引入添加物的方法对其进行改性。现在用Mn、W、Ca、Bi、La和Nb改性的PbTiO3陶瓷,都具有良好的压电性能,是生产高频压电滤波器的优良材料。锆钛酸铅压电陶瓷简称PZT陶瓷,是压电陶瓷材料中用得最多最广的一种。PZT的机电耦合系数高,温度稳定性好,并且有较高的居里温度(~300℃)。用Sr、Ca、Mg等元素部分地取代PZT中的Pb,或者是通过添加Nb、La、Sb、Cr、Mn等元素来改性,可以制成许多不同用途的PZT型压电陶瓷,如PZT-4、PZT-5、PZT-6、PZT-7和PZT-8等。PZT陶瓷的出现,是压电陶瓷发展史上新的里程碑,其大大提高了压电陶瓷的性能并扩大了其应用范围。

压电器件及其应用的发展,取决于压电材料种类的更新和性能的提高。为了开发压电材料的新应用,在石英晶体之后,人们又研制出了罗息尔盐、KDP、ADP、EDT、DKT和LH等多种压电晶体。但是由于它们的性能往往存在某种或某些缺陷,例如罗息尔盐易水解等,所以随着人造石英的大量生产和压电陶瓷性能的提高,这些晶体现在大多已基本上不用了。现在石英晶体仍是最重要,也是用量最大的振荡器、谐振器和窄带滤波器等频控元件的压电材料。

在不同的使用场合,对压电材料的性能有不同的要求。从目前的材料性能来看,压电材料虽然具有较高的灵敏度,但是压电系数d33和机械品质因素Qm仍然比较高。

CN85100710B公开了一种包含有0.05g分子的锂锑酸铅,0.46g分子的钛酸铅和0.49g分子的锆酸铅,并以0.01至0.15的Sr置换Pb形成的陶瓷材料。该陶瓷材料具有极低的机械Q值,高的灵敏度,高的谐振阻抗及适宜的耦合系数,介电常数,且成本低,但该陶瓷材料并没有涉及压电系数d33方面。

发明内容

本发明的目的之一在于提供一种压电材料,所述压电材料兼具高压电系数d33以及低机械品质因素Qm的优点。

为了达到上述目的,本发明采用了如下技术方案:

本发明所述压电材料,其化学组成如下所示:

Pb1-x-yMe1xMe2y[(Ni1/3Nb2/3)a·Zrb·Tic]O3  (Ⅰ)

其中:

Me1和Me2独立的选自Ba、Ca、Sr、Mg、La、Sb中的一种或者至少两种的组合;

x+y=0.02~0.1;

a为0.1~0.7;b为0.1~0.6;c为0.1~0.8,且a+b+c=1。

所述组合例如Ba和Ca的组合,Sr和Mg的组合,La和Sb的组合,Ca和Sr的组合,Mg和La的组合,Sb和Ba的组合,Ca、Ba、Sr的组合。

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