[发明专利]一种泡生法生长蓝宝石的引晶方法及系统有效
申请号: | 201210171877.8 | 申请日: | 2012-05-29 |
公开(公告)号: | CN102677160A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 帕维尔·斯万诺夫;维塔利·塔塔琴科;陈文渊;刘一凡;孙大伟 | 申请(专利权)人: | 上海中电振华晶体技术有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 | 代理人: | 王松 |
地址: | 201210 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 泡生法 生长 蓝宝石 方法 系统 | ||
1.一种泡生法生长蓝宝石的引晶方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:
步骤S1、在观察窗内部通过电子发射器产生电子;
步骤S2、步骤S1产生的电子经加速电压加速后获得高能电子束,并撞击由炉体内部挥发出来的原子或分子,形成带电粒子;所述加速电压的范围为20kv~50kv;从炉体内部挥发出来的原子或分子为金属Mo、W原子、O原子中的一种或多种;
步骤S3、在观察窗两侧加一个特定强度的电场或磁场,通过电场或磁场的作用改变这些带电粒子的运动方向,使其吸附在观察窗的内壁上,以保护观察窗口;在观察窗两侧加特定的外加电场,外加电场为匀强电场,电场强度E≥2mv2d/(qL2);其中,m代表带电离子的质量,v代表粒子进入观察窗时的速度,设定为匀速运动,d代表观察窗直径,q代表粒子所带电荷量,L代表观察窗的长度;或者,在观察窗两侧加特定的磁场,磁场方向垂直于带电粒子的运动方向,磁场强度B≥2mvd/[q(L2+d2)];其中,m代表带电离子的质量,v代表粒子进入观察窗时的速度,d代表观察窗直径,q代表粒子所带电荷量,L代表观察窗的长度。
2.一种泡生法生长蓝宝石的引晶方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:
步骤S1、在观察窗内部通过电子发射器产生电子;
步骤S2、步骤S1产生的电子经加速电压加速后获得高能电子束,得高能电子束撞击由炉体内部挥发出来的原子或分子,形成带电粒子;
步骤S3、在观察窗两侧加一个特定强度的电场或磁场,通过电场或磁场的作用改变这些带电粒子的运动方向,使其吸附在观察窗的内壁上,以保护观察窗口。
3.根据权利要求2所述的泡生法生长蓝宝石的引晶方法,其特征在于:
所述步骤S2中的加速电压的范围为20kv~50kv。
4.根据权利要求2所述的泡生法生长蓝宝石的引晶方法,其特征在于:
所述步骤S2中,从炉体内部挥发出来的原子或分子为金属Mo、W原子、O原子中的一种或多种。
5.根据权利要求2所述的泡生法生长蓝宝石的引晶方法,其特征在于:
所述步骤S3中加特定的外加电场,外加电场为匀强电场,电场强度E≥2mv2d/(qL2);其中,m代表带电离子的质量,v代表粒子进入观察窗时的速度,设定为匀速运动,d代表观察窗直径,q代表粒子所带电荷量,L代表观察窗的长度。
6.根据权利要求2所述的泡生法生长蓝宝石的引晶方法,其特征在于:
所述步骤S3中加特定的磁场,磁场方向垂直于带电粒子的运动方向,磁场强度B≥2mvd/[q(L2+d2)];其中,m代表带电离子的质量,v代表粒子进入观察窗时的速度,d代表观察窗直径,q代表粒子所带电荷量,L代表观察窗的长度。
7.一种泡生法生长蓝宝石的引晶系统,其特征在于,所述系统包括:
电子发射器,用以在观察窗内部产生电子;
电压加速单元,用以产生加速电压;所述电子发射器产生的电子经过加速电压后获得高能电子束,高能电子束撞击由炉体内部挥发出来的原子或分子,形成带电粒子;
电场或磁场生成单元,用以在在观察窗两侧产生一个特定强度的电场或磁场,通过电场或磁场的作用改变这些带电粒子的运动方向,使其吸附在观察窗的内壁上,以保护观察窗口。
8.根据权利要求7所述的泡生法生长蓝宝石的引晶系统,其特征在于:
所述电场或磁场生成单元产生特定的外加电场,外加电场为匀强电场,电场强度E≥2mv2d/(qL2);其中,m代表带电离子的质量,v代表粒子进入观察窗时的速度,设定为匀速运动,d代表观察窗直径,q代表粒子所带电荷量,L代表观察窗的长度。
9.根据权利要求7所述的泡生法生长蓝宝石的引晶系统,其特征在于:
所述电场或磁场生成单元产生特定的磁场,磁场方向垂直于带电粒子的运动方向,磁场强度B≥2mvd/[q(L2+d2)];其中,m代表带电离子的质量,v代表粒子进入观察窗时的速度,d代表观察窗直径,q代表粒子所带电荷量,L代表观察窗的长度。
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