[发明专利]显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种显示装置的制造方法，其特征在于，包括以下工序：

在第一基板上形成包含凸块、光闸及用于机械驱动所述光闸的驱动部在内的构造物的工序；

与所述第一基板相对地配置第二基板的工序；

在所述第一基板及所述第二基板之间填充油的工序，

形成所述构造物的工序包括：将形成了图案的树脂层形成在所述第一基板上的工序；将以作为用于形成所述光闸及所述驱动部的材料的耐油性比所述树脂层高的材料进行图案形成而得到的膜形成在所述树脂层上的工序；残留所述膜并除去所述树脂层的一部分的工序，

所述树脂层具有：最低的第一上表面、比所述第一上表面高的第二上表面、最高的第三上表面、从所述第一上表面下至底面的第一侧面、和从所述第一上表面上至所述第二上表面的第二侧面，以包围所述第三上表面的方式形成贯穿所述树脂层的切槽，

所述膜形成为，在所述切槽的内侧覆盖所述树脂层的除了所述底面以外的整体，在所述切槽的外侧使得所述树脂层的至少一部分露出，

在除去所述树脂层的一部分的工序中，在所述切槽的内侧残留被所述膜整体覆盖的所述树脂层，在所述切槽的外侧除去与相对于所述膜的露出面连续的所述树脂层的整体，

在形成所述构造物的工序中，在所述切槽的内侧由所述树脂层及所述膜形成所述凸块，在所述切槽的外侧由所述膜形成所述光闸和所述驱动部的至少一部分。

2.如权利要求1所述的显示装置的制造方法，其特征在于，

将形成了图案的所述树脂层形成在所述第一基板上的工序包括：

在所述第一基板上形成第一光致抗蚀剂层的工序；

通过光刻对所述第一光致抗蚀剂层进行图案形成而具有所述第一上表面的工序；

在形成了图案的所述第一光致抗蚀剂层上形成第二光致抗蚀剂层的工序；

通过光刻对所述第二光致抗蚀剂层进行图案形成而具有所述第二上表面的工序；

在形成了图案的所述第二光致抗蚀剂层上形成第三光致抗蚀剂层的工序；

通过光刻对所述第三光致抗蚀剂层进行图案形成而具有所述第三上表面的工序。

3.如权利要求1所述的显示装置的制造方法，其特征在于，

将形成了图案的所述树脂层形成在所述第一基板上的工序包括：

在所述第一基板上形成厚度超过所述第一上表面的高度的第一光致抗蚀剂层的工序；

通过包含多色调曝光的光刻对所述第一光致抗蚀剂层进行图案形成而具有所述第一上表面及比所述第一上表面高的中间上表面的工序；

在形成了图案的所述第一光致抗蚀剂层上形成第二光致抗蚀剂层的工序；

通过光刻对所述第二光致抗蚀剂层进行图案形成而在所述第一上表面上配置具有所述第二上表面的部分，且在所述中间上表面上配置具有所述第三上表面的部分的工序。

4.如权利要求1所述的显示装置的制造方法，其特征在于，

将形成了图案的所述树脂层形成在所述第一基板上的工序包括：

在所述第一基板上形成至少具有所述第三上表面的高度的厚度的第一光致抗蚀剂层的工序；

通过包含多色调曝光的光刻对所述第一光致抗蚀剂层进行图案形成而具有所述第一上表面及所述第三上表面的工序；

在形成了图案的所述第一光致抗蚀剂层上形成第二光致抗蚀剂层的工序；

通过光刻对所述第二光致抗蚀剂层进行图案形成而具有所述第二上表面的工序。

5.如权利要求1所述的显示装置的制造方法，其特征在于，

将形成了图案的所述树脂层形成在所述第一基板上的工序包括：

在所述第一基板上形成至少具有所述第一上表面的高度的厚度的第一光致抗蚀剂层的工序；

通过光刻对所述第一光致抗蚀剂层进行图案形成而具有所述第一上表面的工序；

在形成了图案的所述第一光致抗蚀剂层上形成厚度至少达到所述第三上表面的高度的第二光致抗蚀剂层的工序；

通过包含多色调曝光的光刻对所述第二光致抗蚀剂层进行图案形成而具有所述第二上表面及所述第三上表面的工序。