[发明专利]一种氧化锌纳米发电机及其制造方法无效
| 申请号： | 201210162652.6 | 申请日： | 2012-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN102709464A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 王中林;江鹏;于爱芳 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/22;H02N2/18;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 纳米 发电机 及其 制造 方法 | ||
1.一种氧化锌纳米发电机的制造方法，包括：
1）在衬底上镀一层钛层；
2）再镀一层金层；
3）将衬底漂浮在六水合硝酸锌和六次甲基四胺的水溶液的面，并使镀金的一面向下，在加热的条件下生长，得到氧化锌纳米线层；
4）在氧化锌纳米线层上旋涂PMMA层，其中PMMA将氧化锌纳米线包裹在其中，并露出氧化锌纳米线的端部，然后固化PMMA；
5）镀一层金层；
6）再镀一层钛层。
2.根据权利要求1所述的方法，其中在执行步骤5）之前还包括步骤4’)：在氧化锌纳米线层上镀一层钛层，然后重复上述步骤2）、3）和4），所述步骤4’)可执行一次或重复多次，额外再得到一层或多层氧化锌纳米线层。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述金层的厚度在50-100nm之间。
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述钛层的厚度在50-150nm之间。
5.根据权利要求1所述的方法，其中所述六水合硝酸锌的摩尔浓度与六次甲基四胺的摩尔浓度比为1：1。
6.根据权利要求1所述的方法，其中所述六水合硝酸锌的浓度为0.01-0.05mol/L，六次甲基四胺的浓度为0.01-0.05mol/L。
7.根据权利要求1所述的方法，其中步骤3）中，生长氧化锌纳米线层时的温度为75至85℃。
8.一种根据权利要求1所述的制造方法形成的氧化锌纳米发电机。
9.一种根据权利要求2所述的制造方法形成的氧化锌纳米发电机。
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