[发明专利]吸附状态检查装置、表面安装机和元件试验装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于检查吸嘴对元件的吸附状态的吸附状态检查装置、装备有该吸附状态检查装置的表面安装机、和装备有该吸附状态检查装置的元件试验装置。

背景技术

作为具有用于处理电子元件等元件的机构的装置，一直以来例如表面安装机、元件试验装置等大量存在。这些装置具有用于保持电子元件的吸嘴，该吸嘴利用其下方前端部吸附元件的上表面而保持该元件。此外，为了将元件从元件供应部高效率地搬送到目标位置，多个吸嘴搭载于头部单元。在利用各吸嘴保持元件的状态下，头部单元朝向目标位置搬送多个元件。而且，在每个元件的目标位置，通过解除吸嘴对元件的保持，进行将元件向该目标位置的定位。因而，为了提高定位精度，在定位前预先检查吸嘴对元件的吸附状态，在考虑该吸附状态的基础上进行元件定位是重要的。因此，为了进行该吸附状态的检查，在表面安装机、元件试验装置中装备有吸附状态检查装置。

作为这样的吸附状态检查装置，例如有在日本特开2007-287986号公报中记载的装置。在该以往装置中，多个吸嘴被保持在能够绕沿上下方向延伸的轴线转动的吸嘴保持架上，在该轴线上设置有反射体。换句话说，以围绕反射体的方式设置有多个吸嘴。在如上所述地构成的吸嘴组的一侧，设有CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)摄像机和LED(Light Emitting Diode，发光二极管)。使用来自LED的照明光中的由反射体反射的光，利用CCD摄像机拍摄被吸附在吸嘴的前端的电子元件的二维图像。基于该拍摄结果，检查电子元件的吸附状态。

另外，在上述吸附状态检查装置中，由反射体反射的光自反射体侧照射到与CCD摄像机相向的元件，拍摄元件的廓影像。基于该廓影像，能够识别吸嘴对该元件的吸附状态。可是，由于LED设置于CCD摄像机侧，因此产生以下问题。

即，来自LED的照明光的一部分被作为检查对象的元件（被检查元件）反射并射入CCD摄像机中，因此，存在在由CCD摄像机拍摄到的图像中元件和背景的对比度差降低，导致识别精度降低的问题。为了解决如上所述的问题，可以考虑在CCD摄像机与LED之间设置光学滤波器。可是，该解决方案会引起装置成本和装置尺寸的增大，并且为了弥补由于夹设光学滤波器而造成的光量降低，还需要设置更多的LED。另外，在采用在CCD摄像机侧设置LED等照明部的结构的情况下，需要避开射入CCD摄像机中的光的光路地设置照明部。在该情况下，会产生光量降低或为了弥补其而造成照明部的大型化。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种即使在吸附状态检查装置中设有多个用于吸附元件的吸嘴的情况下，也能够以高的对比度拍摄作为检查对象的吸附于吸嘴的元件（被检查元件）和其背景，且良好地检查该吸嘴对元件的吸附状态的技术。

用于实现该目的的本发明所涉及的吸附状态检查装置包括：漫射部件，设置于设有多个用于吸附元件的吸嘴的吸嘴组的内侧，使入射的光一边漫射一边透过；摄像部，设置于所述吸嘴组的侧旁且从所述漫射部件向第一方向离开的位置，通过以所述漫射部件为背景拍摄吸附于构成所述吸嘴组的多个吸嘴中的、相对于所述漫射部件位于所述第一方向的一个吸嘴的元件，获得所述元件的像；照明部，隔着假想铅垂面，设置在与所述摄像部相反的区域，对所述吸嘴组照射光，其中，所述假想铅垂面在从所述摄像部向与所述第一方向相反的第二方向延伸的假想线、和所述漫射部件交叉的位置上，通过与所述该假想线正交的假想水平线；以及检查部，基于由所述摄像部拍摄的所述元件的像，检查所述一个吸嘴对所述元件的吸附状态。

此外，本发明所涉及的表面安装机包括：元件供应部，供应元件；头部单元，具有多个用于吸附从所述元件供应部供应的元件并且将元件安装到基板上的吸嘴；移动机构，使所述头部单元在所述元件供应部与基板之间移动；以及如上所述的吸附状态检查装置，其中，所述头部单元利用所述吸嘴从所述元件供应部吸附元件并将其搬出，并且由所述吸附状态检查装置检查吸附于所述吸嘴的元件的吸附状态后，将该元件安装到基板上。

此外，本发明所涉及的元件试验装置包括：元件供应部，供应元件；元件试验部，对从所述元件供应部供应的元件进行试验；头部单元，具有多个用于吸附从所述元件供应部供应的元件的吸嘴；移动机构，使所述头部单元在所述元件供应部与所述元件试验部之间移动；以及如上所述的吸附状态检查装置，其中，所述头部单元利用所述吸嘴从所述元件供应部吸附元件并将其搬出，并且由所述吸附状态检查装置检查吸附于所述吸嘴的元件的吸附状态后，将该元件移载到所述元件试验部。