[发明专利]具有调整施加到开关阵列的选通信号的时间分布的电路的开关阵列

权利要求书

1.一种微机电系统(MEMS)开关阵列(1000)，包括：

多个MEMS开关，其耦合成响应通过选通电极线路(1006)施加的选通信号来开关电流；以及

电路(1008)，其耦合到所述选通电极线路(1006)以调整施加到所述多个MEMS开关的所述选通信号的时间分布，其中对所述时间分布整形以减少可能在电流的所述开关期间在所述多个MEMS开关的至少其中一些中发展的电压电涌。

2.如权利要求1所述的MEMS开关阵列(1000)，其中，所述电路(1008)包括传感器(1028)，用于感测所述MEMS开关阵列(1000)要开关的电流的电平。

3.如权利要求2所述的MEMS开关阵列(1000)，其中，所述电路包括控制电路(1032)，其配置成基于所感测的所述MEMS开关阵列(1000)要开关的电流的电平动态地调整施加所述选通信号的所述时间分布。

4.如权利要求1所述的MEMS开关阵列(1000)，其中，所述电路(1008)包括至少一个无源组件，所述至少一个无源组件选为影响所述MEMS开关阵列(1000)对所述选通信号的时间响应。

5.如权利要求4所述的MEMS开关阵列(1000)，其中，所述至少一个无源组件包括电容器。

6.如权利要求5所述的MEMS开关阵列(1000)，其中，所述至少一个无源组件还包括耦合到所述电容器的电阻器。

7.如权利要求1所述的MEMS开关阵列(1000)，其中，所述电路(1008)包括芯片上电路。

8.如权利要求1所述的MEMS开关阵列(1000)，其中，所述电路(1008)包括芯片外电路。

9.如权利要求1所述的MEMS开关阵列(1000)，其中，所述电路(1008)跨过所述开关阵列的梁线路(1210)和所述选通电极线路(1206)耦合。

10.如权利要求1所述的MEMS开关阵列(1000)，其中，所述选通电极线路从第一端延伸到第二端，并且其中所述电路还耦合在所述选通电极线路的所述端之间。

11.一种系统，包括：

MEMS开关的阵列(1000)，其耦合成响应通过选通电极线路(1006)施加的选通信号来开关电流；

选通电极驱动器(1004)，其耦合到所述选通电极线路(1006)以供给所述选通信号；以及

电路(1008)，其耦合到所述选通电极线路(1006)以调整施加到所述多个MEMS开关的所述选通信号的时间分布，其中对所述时间分布整形以减少可能在所述MEMS开关的至少其中一些中发展的电压电涌。