[发明专利]液晶制程中炉体的双路循环冷却系统有效
| 申请号： | 201210133092.1 | 申请日： | 2012-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN102628651A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 邓鸿韬 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F27D9/00 | 分类号： | F27D9/00 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液晶 制程中炉体 循环 冷却系统 | ||
1.一种液晶制程中炉体的双路循环冷却系统，其特征在于，包括水泵、水槽、抽水管、回流管、第一冷却管路及第二冷却管路，所述水泵、水槽、抽水管及回流管位于炉体外部，所述第一冷却管路和第二冷却管路为位于炉体内部的平行并列的两排冷却管路；所述水泵经由抽水管将水槽中容纳的冷却物抽至炉体内部的第一冷却管路和第二冷却管路中，冷却物带走炉体内部的热量后再经由回流管排入水槽中，第一冷却管路和第二冷却管路内冷却物流动方向相反。
2.如权利要求1所述的液晶制程中炉体的双路循环冷却系统，其特征在于，所述水泵为自吸式水泵。
3.如权利要求1所述的液晶制程中炉体的双路循环冷却系统，其特征在于，所述冷却物为液晶滴入制程的回收水。
4.如权利要求1所述的液晶制程中炉体的双路循环冷却系统，其特征在于，所述水槽为供磨边制程使用的液晶滴入制程回收水的暂存缓冲。
5.如权利要求1所述的液晶制程中炉体的双路循环冷却系统，其特征在于，所述第一冷却管路及第二冷却管路为不锈钢管。
6.如权利要求1所述的液晶制程中炉体的双路循环冷却系统，其特征在于，所述第一冷却管路及第二冷却管路为陶瓷管。
7.如权利要求1所述的液晶制程中炉体的双路循环冷却系统，其特征在于，所述第一冷却管路安装于炉体内部的排气管中。
8.如权利要求1所述的液晶制程中炉体的双路循环冷却系统，其特征在于，所述第二冷却管路安装于炉体内部的排气管中。
9.如权利要求1所述的液晶制程中炉体的双路循环冷却系统，其特征在于，所述第一冷却管路及第二冷却管路安装于炉体内部的排气管中。
10.如权利要求1所述的液晶制程中炉体的双路循环冷却系统，其特征在于，所述第一冷却管路及第二冷却管路的管路形状为方波形折线。
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