[发明专利]金属刀模板电解蚀刻机

权利要求书

1.一种金属刀模板电解蚀刻机，包括机架（1）、上电极（7）、下电极（8）和电解液收集槽（9），其中所述电解液收集槽（9）位于机架（1）上，所述下电极（8）位于电解液收集槽（9）中，其特征在于：

a、所述机架（1）上还移动配合有平移架（11），所述上电极（7）装连在平移架（11）上，所述平移架（11）上且位于上电极（7）旁具有至少两个出液器（7-1），所述出液器（7-1）的出液口均朝向上电极（7）的底部及底面下方的空间，平移架（11）移动时，上电极（7）和出液器（7-1）能够从下电极（8）上方通过，

b、所述下电极（8）的上表面上设有绝缘的工件支撑件（8-1），工件支撑件（8-1）上具有液体过道（8-1-1），或者所述下电极（8）的上表面上设有若干个绝缘的工件支撑条，相邻的工件支撑条之间的间隙构成液体过道（8-1-1），

c、所述下电极（8）内部或侧面具有通往下电极上表面的液流通道（8-2），液流通道（8-2）与所述液体过道（8-1-1）连通。

2.根据权利要求1所述的金属刀模板电解蚀刻机，其特征在于：所述机架（1）上装有平移架驱动装置（12），平移架驱动装置（12）传动连接平移架（11），所述平移架（11）通过平移滑块（13’）和平移导轨（13）与机架（1）移动配合。

3.根据权利要求2所述的金属刀模板电解蚀刻机，其特征在于：所述平移架驱动装置（12）包括伺服电机减速机（12-1）、链条（12-2）和链轮（12-3），其中伺服电机减速机（12-1）通过链轮（12-3）传动连接链条（12-2），链条（12-2）与平移架（11）底部连接。

4.根据权利要求1所述的金属刀模板电解蚀刻机，其特征在于：所述平移架（11）上还装有升降架（14）及其升降驱动装置（15），所述上电极（7）和出液器（7-1）固定在升降架（14）上。

5.根据权利要求1所述的金属刀模板电解蚀刻机，其特征在于：所述工件支撑件（8-1）为板形并具有四周的平直部（8-1-2）和中部的沉陷部（8-1-3），沉陷部（8-1-3）底部具有若干栅栏条（8-1-4），栅栏条（8-1-4）之间的间隙构成工件支撑件（8-1）的液体过道（8-1-1）。

6.根据权利要求1所述的金属刀模板电解蚀刻机，其特征在于：所述平移架（11）上装连有若干开口朝下的第一集气支管（5-1），所述电解液收集槽（9）上方也有若干开口朝向电解液收集槽（9）内的第二集气支管（5-1’）， 第一集气支管（5-1）和第二集气支管（5-1’）均通往集气总管（5），所述电解液收集槽（9）上方还覆盖有柔性集气罩（18）。

7.根据权利要求6所述的金属刀模板电解蚀刻机，其特征在于：所述集气总管（5）与集气洗涤器（16）连通。

8.根据权利要求1所述的金属刀模板电解蚀刻机，其特征在于：还包括供液装置（10）、电源装置（2）和电控装置（3），所述上电极（7）、下电极（8）和电控装置（3）分别与电源装置（2）电连接，供液装置（10）与出液器（7-1）及下电极（8）的液流通道（8-2）连通。

9.根据权利要求8所述的金属刀模板电解蚀刻机，其特征在于：所述供液装置（10）包括输液泵（10-1）、储液箱（10-2）和输液管（10-3），其中输液泵（10-1）装在储液箱（10-2）上，输液管（10-3）的一端与输液泵（10-1）连通，另一端分别通往上电极（7）和下电极（8）处。

10.根据权利要求9所述的金属刀模板电解蚀刻机，其特征在于：所述电解液收集槽（9）底部设有通向供液装置（10）的储液箱（10-2）的排液管（9-1），储液箱（10-2）内装有换热元件（4-1），换热元件（4-1）连接到恒温装置（4），储液箱（10-2）还与液体过滤装置（6）相连接。

11.根据权利要求1所述的金属刀模板电解蚀刻机，其特征在于：所述上电极（7）的与平移架（11）移动方向平行的两侧均装有挡液条（7-2），挡液条（7-2）的下端分别延伸到下电极（8）的相应两侧处。

12.根据权利要求1所述的金属刀模板电解蚀刻机，其特征在于：所述下电极（8）上设有电磁铁（19）或永久磁铁。