[发明专利]一种光谱测量装置

权利要求书

1.一种光谱测量装置，包括入射狭缝(1)、色散元件(2)和一个或多个成像元件(3)，光线从入射狭缝(1)进入光谱测量装置，经色散元件(2)分光后，成像元件(3)将色散光会聚成像，其特征在于，在成像元件(3)的表面镀有光谱选择性薄膜(4)，所述的光谱选择性薄膜(4)的选择波段与光谱测量装置的测量波段相对应。

2.如权利要求1所述的一种光谱测量装置，其特征在于，所述的光谱选择性薄膜(4)由两种或两种以上具有不同选择波段的光学薄膜构成，各光学薄膜的选择波段首尾交叠且覆盖整个测量波段；或者所述的光谱选择性薄膜(4)为一种局部选择波段范围渐变的光学薄膜。

3.如权利要求1所述的一种光谱测量装置，其特征在于，包括阵列探测器(5)，成像元件(3)将色散光成像到阵列探测器(5)的光敏面上，在所述的阵列探测器(5)光敏面的不同像素区域上镀有与探测波长相对应的光谱选择性薄膜(4)。

4.如权利要求1所述的一种光谱测量装置，其特征在于，包括用于将成像元件(3)切入光路的切换机构(8)，在所述的切换机构(8)上设置两个或两个以上的成像元件(3)，所述的两个或两个以上的成像元件(3)分别镀有选择波段不同的光谱选择性薄膜(4)。

5.如权利要求1所述的一种光谱测量装置，其特征在于，包括两个或两个以上的色散元件(2)和两个或两个以上的成像元件(3)，色散元件(2)和成像元件(2)的数目相等且间隔设置，各个成像元件(3)上均镀有选择波段对应相等的光谱选择性薄膜(4)。

6.如权利要求1或3或4或5所述的一种光谱测量装置，其特征在于，所述的成像元件(3)是凹面反射镜，在凹面反射镜的表面镀有光谱选择性反射膜或滤光膜。

7.如权利要求1或5所述的一种光谱测量装置，其特征在于，在所述的色散元件(2)上镀有与光谱测量装置的测量波段相对应的光谱选择性薄膜(4)。

8.如权利要求1或5所述的一种光谱测量装置，其特征在于，包括设置于色散元件(2)的入射或出射光路上的一个或者多个准直镜6)或/和反射镜(7)。

9.如权利要求8所述的一种光谱测量装置，其特征在于，在所述的一个或者多个准直镜6)或/和反射镜(7)上镀有与光谱测量装置的测量波段相对应的光谱选择性薄膜(4)。

10.如权利要求1或4或5所述的一种光谱测量装置，其特征在于，包括用以出射单色光的出射狭缝(9)，所述的出射狭缝(9)设置在成像元件(3)的成像面上。