[发明专利]曝光方法及曝光装置、以及元件制造方法

权利要求书

1.一种曝光方法，用于使物体曝光，其特征在于：

在相对该物体进行曝光的曝光区域至少于第1方向位置相异的量测区域内，于该第1方向移动标记检测系统的检测区域，以检测该物体上的复数个标记；

使用该标记的检测结果在该曝光区域内移动该物体。

2.如权利要求1所述的曝光方法，其特征在于，由该标记检测系统进行的标记检测是在该检测区域的移动前后分别进行。

3.如权利要求2所述的曝光方法，其特征在于，于该检测区域的移动前检测的标记与于该检测区域的移动后检测的标记是在所述物体上于该第1方向位置相异。

4.如权利要求3所述的曝光方法，其特征在于，该复数个标记，包含于该物体上与该第1方向正交的第2方向位置相异的标记，为了在该量测区域内检测该相异的标记，使该物体移动于第2方向。

5.一种曝光方法，用于使物体曝光，其特征在于：

包括在相对该物体进行曝光的曝光区域至少于第1方向位置相异的量测区域内，以标记检测系统检测该物体上的标记，于该第1方向移动标记检测系统的检测区域，以该检测区域已移动的该标记检测系统检测在该物体上于该第1方向与该已检测的标记位置相异的标记，使用该标记的检测结果在该曝光区域内移动该物体，以该标记检测系统检测包含在该物体上于该第1方向位置相异的标记的复数个标记。

6.如权利要求5所述的曝光方法，其特征在于，该复数个标记，包含于该物体上与该第1方向正交的第2方向位置相异的标记，为了在该量测区域内检测该相异的标记，使该物体移动于该第2方向。

7.一种曝光方法，用于使物体曝光，其特征在于：

在相对该物体进行曝光的曝光区域至少于第1方向位置相异的量测区域内，通过具有于该第1方向位置相异的复数个检测区域的标记检测系统，检测该物体上的复数个标记；

使用该标记的检测结果在该曝光区域内移动该物体。

8.如权利要求7所述的曝光方法，其特征在于，该复数个标记，包含于该物体上与该第1方向正交的第2方向位置相异的标记，为了在该量测区域内检测该相异的标记，使该物体移动于该第2方向。

9.如权利要求8所述的曝光方法，其特征在于，该复数个标记包含在该物体上于该第1方向位置相异的标记。

10.如权利要求8所述的曝光方法，其特征在于，以该标记检测系统实质上同时检测在该物体上于该第1方向位置相异的标记。

11.如权利要求8所述的曝光方法，其特征在于，在该标记的检测前，视该复数个标记的排列信息调整于该第1方向的该复数个检测区域的至少一个的位置。

12.如权利要求1-11任一项权利要求所述的曝光方法，其特征在于，在该曝光区域内的该物体的曝光中，在该量测区域内检测次一待曝光物体上的复数个标记。

13.如权利要求1-12任一项权利要求所述的曝光方法，其特征在于，该量测区域，是于该第1方向分别配置于该曝光区域的两侧，并将在该2个量测区域内分别进行了该标记检测的物体交互配置于该曝光区域内。

14.如权利要求1-13任一项权利要求所述的曝光方法，其特征在于，是在该量测区域内检测与该物体面形状相关的信息。

15.一种元件制造方法，其包含：使用权利要求1-13任一项权利要求所述的曝光方法于感应物体上形成图案的步骤。

16.一种曝光装置，用以使物体曝光，其特征在于，该曝光装置包括：

移动体，其用以保持该物体并移动；

标记检测系统，在相对该物体进行曝光的曝光区域至少于第1方向位置相异的量测区域内，检测该物体上的复数个标记；以及

控制装置，于该第1方向移动标记检测系统的检测区域，使用该标记检测系统检测该物体上的复数个标记，并使用该标记检测系统的该标记的检测结果，于该曝光区域内控制保持该物体的移动体的移动。

17.如权利要求16所述的曝光装置，其特征在于，由该标记检测系统进行的标记检测是在该检测区域的移动前后分别进行。