[发明专利]光学传感器及光学传感器的制造方法有效
申请号: | 201210103730.5 | 申请日: | 2012-03-30 |
公开(公告)号: | CN102738250A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 竹内均;木村纪幸;野口康次 | 申请(专利权)人: | 精工电子有限公司 |
主分类号: | H01L31/02 | 分类号: | H01L31/02;H01L31/0203;H01L31/08;H01L31/18 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 何欣亭;王忠忠 |
地址: | 日本千叶*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 传感器 制造 方法 | ||
1.一种光学传感器,具备:
大致板状的基底,由在表面具有凹部、在周缘具有沿着厚度方向形成有多个切口的玻璃材料构成;
平板状的盖部,由以层叠状态与该基底的所述表面接合、将所述凹部密闭而形成空洞部的玻璃材料构成;
光学元件,具有接受光的受光部,使所述受光部面对所述盖部的与所述基底对置的表面而安装并容纳于所述空洞部内,对透射所述盖部并由所述受光部接受的光进行光电转换;
多个内部布线,形成于所述盖部的与所述基底对置的表面,具有与所述光学元件连接的元件连接部及在与所述基底的切口对置的位置配置的布线连接部;以及
多个外部布线,以一端与在该内部布线的与所述基底的切口对置的位置配置的所述布线连接部连接、另一端在所述基底的与所述盖部相反的一侧的表面上露出的方式沿着所述切口的表面配置。
2.如权利要求1所述的光学传感器,其中,
所述基底由遮光性的玻璃材料构成,
所述盖部至少在与所述基底对置的表面具备限制透射的光的波长的光学滤波器。
3.如权利要求1所述的光学传感器,其中,
所述基底由遮光性的玻璃材料构成,
所述盖部由在所述光学元件的受光部所面对的范围具有透射光的透射区域的遮光性的玻璃材料构成。
4.一种光学传感器的制造方法,包括:
内部布线形成工序,在由玻璃材料构成的平板状的盖部件的表面形成内部布线;
元件安装工序,将光电转换元件与通过该内部布线形成工序而在所述盖部件的表面形成的所述内部布线连接,使受光部面对所述盖部件的表面而安装该光电转换元件;
接合工序,将通过该元件安装工序而安装有所述光电转换元件的所述盖部件与由在表面具有凹部且在周缘具有沿着厚度方向形成有多个切口的玻璃材料构成的大致板状的基底部件以层叠状态配置,以将所述光电转换元件容纳于该基底部件的所述凹部并由所述盖部件将该凹部密闭的方式将该盖部件和所述基底部件接合;以及
外部布线形成工序,沿着通过该接合工序而接合有所述盖部件的所述基底部件的所述切口的表面形成外部布线,配置为将该外部布线的一端与所述内部布线连接并且使另一端在所述基底部件的与所述盖部件相反的一侧的表面上露出。
5.如权利要求4所述的光学传感器的制造方法,其中,
所述切口形成于所述基底部件的角部,所述内部布线的另一端配置于所述盖部件的角部。
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