[发明专利]一种制备标准氧化钽薄膜的方法无效
| 申请号： | 201210096962.2 | 申请日： | 2012-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN102634837A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 徐建;陆敏;朱丽娜;吴立敏;陈永康 | 申请（专利权）人： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 主分类号： | C25D11/26 | 分类号： | C25D11/26 |
| 代理公司： | 上海世贸专利代理有限责任公司 31128 | 代理人： | 李浩东 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 标准 氧化 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备标准氧化钽薄膜的方法，其特征是它包括如下步骤：
a、对金属钽片进行表面处理，
b、将金属钽片作为阳极、贵金属丝作为阴极，在阳极、阴极上施加1～60V的电压置入电解液中进行阳极氧化反应0.1～12小时，
c、取出并清洗金属钽片，
d、放入烘箱干燥。
2.根据权利要求1所述的一种制备标准氧化钽薄膜的方法，其特征是：表面处理为用抛光液对厚度为100～500μm、表面积为500～1000mm2的金属钽片进行化学抛光。
3.根据权利要求1所述的一种制备标准氧化钽薄膜的方法，其特征是：电解液为浓度0.01～0.5 mol/L的柠檬酸、草酸或硝酸。
4.根据权利要求1所述的一种制备标准氧化钽薄膜的方法，其特征是：贵金属丝为铂丝、金丝或铑丝。
5.根据权利要求1所述的一种制备标准氧化钽薄膜的方法，其特征是：阳极、阴极相距40～100mm。
6.根据权利要求1所述的一种制备标准氧化钽薄膜的方法，其特征是：清洗金属钽片为用去离子水清洗金属钽片。
7.根据权利要求1所述的一种制备标准氧化钽薄膜的方法，其特征是：干燥温度为60～120℃，干燥时间为1～6小时。
8.根据权利要求2所述的一种制备标准氧化钽薄膜的方法，其特征是：抛光液的组分由浓硫酸、硝酸和氢氟酸组成，其体积比为10～20︰4～8︰2～6。
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