[发明专利]一种太阳能电池扩散用石英舟装置

说明书

技术领域

 本发明涉及一种太阳能装置，尤其是涉及一种太阳能电池扩散用石英舟装置。

背景技术

现有的太阳能电池扩散用石英舟有102个垂直槽，每个垂直槽放置2片硅片，工业生产采用2舟/次的方式使用，即其装载量为：102×2×2=408片/次，硅片装载量偏低，使单位硅片的制造成本偏高；而且由于现有扩散石英舟的硅片装载量与PECVD石墨舟的装载量不匹配，造成工业化生产中硅片流程混乱，往往在出现异常时不能快速有效地追踪产品的处理设备，使得产品的优劣不能正确地反馈设备的运行状况，加大了异常发生和处理时间，给公司造成较大的利润损失。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种结构简单、成本低、并能快速推广应用的太阳能电池扩散用石英舟装置。

为了解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：一种太阳能电池扩散用石英舟装置，包括由石英材料制成的载片体、顶杆、底杆以及脚杆，所述载片体有四根，与所述顶杆、底杆和脚杆合围成矩形结构。

为了能够固定硅片，进一步地，所述四根载片杆的等间隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽。

为了能够提升扩散方块电阻均匀性，进一步地，所述垂直槽由采用5°设计的上槽和下槽组成。

为了能够提高石英舟的装载量，进一步地，所述垂直槽的槽间距为4.41mm。

为了能够提高石英舟的装载量，再进一步地，所述垂直槽数量为110个。

为了便于石英舟装卸料，更进一步地，所述顶杆为中空式的。

与现有技术相比，本发明的有益之处是：这种太阳能电池扩散用石英舟装置实现了石英舟装载量和PECVD石墨舟的匹配，彻底杜绝了硅片混乱，缩短了异常发生和处理时间，为公司减少了不必要利润损失，并且降低了单位硅片的制造成本。

附图说明：

下面结合附图对本发明进一步说明。

图1是本发明一种太阳能电池扩散用石英舟装置截面示意图；

图2是图1中A-A剖视图。

图中：1、载片杆； 2、顶杆； 3、底杆； 4、脚杆； 5、垂直槽； 51、上槽； 52、下槽。

具体实施方式：

下面结合附图及具体实施方式对本发明进行详细描述：

图1所示一种太阳能电池扩散用石英舟装置，包括由石英材料制成的载片体1、顶杆2、底杆3以及脚杆4，所述载片体1有四根，与所述顶杆2、底杆3和脚杆4合围成矩形结构；为了能够固定硅片，所述四根载片杆1的等间隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽5，所述垂直槽5由上槽51和下槽52组成，采用5°设计；并且该垂直槽5可以防止在运动中因硅片移位而造成碎片，也防止了因移位而造成扩散方块电阻的不均匀性，使操作更为简单、便捷；所述顶杆2采用中空设计，便于石英舟装卸料操作；脚杆4使石英舟在送入石英管后处于支撑状态，可起到防止污染的作用，同时有助于脚杆4下部气体的循环，可进一步提高方块电阻的均匀性。在基本不影响扩散方块电阻的基础上，将现有4.76mm的石英垂直槽间距优化到4.41mm；优化后石英舟有110个垂直槽5，其装载量为：110×2×2=440片/次，但因热场和气流的影响，每个舟的头尾位置方块电阻波动较大，为此，通常在这四个位置放置假片来代替硅片，防止了对方块电阻的影响（假片可重复利用），所以其装载量为440-4×2=432片/次，与PECVD石墨舟的装载量（216×2=432片）一致。

这种太阳能电池扩散用石英舟装置实现了石英舟装载量和PECVD石墨舟的匹配，彻底杜绝了硅片混乱，缩短了异常发生和处理时间，为公司减少了不必要利润损失；在基本不影响扩散方块电阻的基础上，将石英垂直槽间距优化，石英舟的装载量增大，降低了单位硅片的制造成本。

需要强调的是：以上仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。