[发明专利]一种利用磁力校正金属反射镜面形的装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用磁力校正金属反射镜面形的装置及方法，用于光学零件的校正。

背景技术

光学零件是组成光学系统的重要零件。光学零件有很多种，比如透镜、棱镜等往往都是通过研磨而成的，它们的材质往往都是各种光学玻璃，面形往往是球面，是组成折射光学系统的重要零件；还有一种是在金属材料上用高速车削的方法加工而成的反射面构成的反射光学零件，这种反射面可以是常规的球面，也可以是复杂的高次非球面，这是通常的研磨所做不到的。研磨透镜的周期较长，某些光学系统必需用到复杂的面形所以要用高速切削的方法加工金属反射镜，切削的方法可以短时间内成形，但是反射镜面形会受到许多因素的影响而出现不稳定性，即使同一批次加工出来的反射镜面也会有较大的离散性，加工后的反射镜进行镀膜，镀膜会对面形带来一些不可控的影响，再者反射面本来对光学系统的影响就大，这给光学系统的集成带来困难，通常的做法是从一批中挑选面形较好的反射镜来装配，或系统中的不同零件之间进行配对以达到互相补偿的作用，但是这种补偿的组合是很有限的，效果也有限，而且挑选较好的零件进行集成势必造成浪费。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：克服现有技术不足，提供一种利用磁力校正金属反射镜面形的装置及方法，能够对加工好的金属反射镜面形进行有效的校正。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种利用磁力校正金属反射镜面形的装置，包括：局部校正对阵列9和安装基板2；所述局部校正对阵列9包含有多个局部面形校正对8，所述每个局部面形校正对8包括永磁体4和磁力面形校正部件3，所述永磁体4和磁力面形校正部件3的中心线在一条直线上且两者之间有间隙d；所述永磁体4安装在金属反射镜1背面的安装孔13内，磁力面形校正部件3安装在安装基板2的安装螺纹孔21上；所述磁力面形校正部件3分为静态磁力面形校正部件3A和动态磁力面形校正部件3B，动态磁力面形校正部件3B或静态磁力面形校正部件3A通过螺纹固定于安装基板2的螺纹安装孔21内，当对金属反射镜1进行静态面形校正时，采用静态磁力面形校正部件3A；当对金属反射镜1进行动态面形校正时，采用动态磁力面形校正部件3B；所述安装基板2加工有安装螺纹孔21，为金属反射镜1和磁力面形校正部件3提供必要的支撑和约束；

所述静态磁力面形校正部件3A由螺纹套筒33、固定螺母32、压板31和永磁体柱34构成；螺纹套筒33的内壁和外壁加工成螺纹，外部螺纹与安装基板1的安装螺纹孔21配合用于调整局部面形校正对8的间隙d和固定静态磁力面形校正部件3A用；固定螺母32与螺纹套筒33的外部螺纹配合用来锁紧静态磁力面形校正部件3A到安装基板2上面；永磁体柱34安装在螺纹套筒33内，压板31与螺纹套筒33的内部螺纹配合压紧永磁体柱34；

所述动态磁力面形校正部件3B由螺纹套筒33、固定螺母32、压板31、驱动线圈37、铁芯36和正负引线38、39构成；螺纹套筒33的内壁和外壁加工成螺纹，外部螺纹与安装基板1的安装螺纹孔21配合用于固定动态磁力面形校正部件3B用，固定螺母32与螺纹套筒33的外部螺纹配合用来锁紧动态磁力面形校正部件3B到安装基板2上面，驱动线圈37、铁芯36安装在螺纹套筒33内，压板31与螺纹套筒33的内部螺纹配合压紧驱动线圈37、铁芯36，铁芯36由高磁导率的材料比如坡莫合金构成，驱动线圈37中的电流通过正负引线38、39导入。

所述安装基板2的材质为磁导率小于100的材料。

所述安装螺纹孔21与金属反射镜1背面的安装孔13一致。

一种利用磁力校正金属反射镜面形的方法，包括静态面形校正方法和动态面形校正方法；

所述静态面形校正方法实现步骤如下：

(1)将多个永磁体4固定于金属反射镜1背面的安装孔13内，静态磁力面形校正部件3A通过螺纹固定于安装基板2的螺纹安装孔21内，金属反射镜1通过自身的安装座11固定到安装基板2上，金属反射镜1上安装完永磁体4、安装基板2装配完静态磁力校正部件3A后，金属反射镜1和安装基板2装配为一个整体，形成带有磁力面形校正部件的金属反射镜组件0；