[发明专利]反射镜驱动装置以及反射镜驱动方法

权利要求书

1.一种反射镜驱动装置，包括：

反射镜部分；

一对内部致动器部分，其布置在反射镜部分两侧以将反射镜部分夹在中间并且其耦接至反射镜部分，所述一对内部致动器部分被配置成执行由压电体的变形而引起的弯曲位移；

一对外部致动器部分，其布置在反射镜部分两侧，并且布置在相对于所述一对内部致动器部分与所述反射镜部分相距更远的位置处，并且耦接至内部致动器部分，所述一对外部致动器部分被配置成执行由压电体的变形而引起的弯曲位移；

固定及支撑部分，其耦接至外部致动器部分中不同于外部致动器部分耦接至内部致动器部分的耦接部分的端部，所述固定及支撑部分被配置成通过在该端部固定外部致动器部分来支撑外部致动器部分；

内部致动器驱动电压供给部分，其被配置成向内部致动器部分提供驱动电压以激励内部致动器部分；以及

外部致动器驱动电压供给部分，其被配置成向外部致动器部分提供驱动电压以激励外部致动器部分，其中

内部致动器部分的一端耦接至反射镜部分，内部致动器部分的另一端耦接至外部致动器部分，

从内部致动器驱动电压供给部分和外部致动器驱动电压供给部分中的一个驱动电压供给部分向与这一个驱动电压供给部分相对应的内部致动器部分或外部致动器提供驱动电压，该驱动电压的频率用于引起反射镜部分在与相应致动器部分的谐振驱动相关的反射镜部分的旋转方向上振荡，以及

与谐振驱动同时，从另一个驱动电压供给部分向内部致动器部分和外部致动器部分中的与执行谐振驱动的致动器部分不同的对应致动器部分提供用于在不激励谐振驱动的情况下使反射镜部分倾斜的驱动电压。

2.根据权利要求1所述的反射镜驱动装置，其中

每个外部致动器部分具有其中外部致动器部分与固定及支撑部分在耦接部分处固定的悬臂梁结构，以及

每个内部致动器部分具有其中内部致动器部分与外部致动器部分在耦接部分处固定的悬臂梁结构。

3.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动装置，其中

外部致动器部分和内部致动器部分中的每一个都是具有其中下电极、压电体和上电极按照这样的顺序层叠在振荡板上的结构的压电单晶类型的致动器。

4.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动装置，其中

执行驱动，以使得内部致动器部分的驱动所引起的反射镜部分的旋转运动的旋转轴变得平行于外部致动器部分的驱动所引起的反射镜部分的旋转运动的旋转轴。

5.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动装置，其中

执行驱动，以使得内部致动器部分的驱动所引起的反射镜部分的旋转运动的旋转轴变得垂直于外部致动器部分的驱动所引起的反射镜部分的旋转运动的旋转轴。

6.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动装置，其中

在反射镜部分与内部致动器部分之间的每一个耦接部分以及内部致动器部分与外部致动器之间的每一个耦接部分中的至少一个耦接部分中采用促使该至少一个耦接部分变形的回折结构。

7.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动装置，其中

压电体是厚度为1至10μm的薄膜。

8.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动装置，其中

压电体是由下面的公式(P)所表示的一种或多种钙钛矿氧化物：

通式ABO₃... (P)

在公式中，

A：包含在A位中的并且包含Pb的至少一种元素，

B：包含在B位中的至少一种元素，其是从Ti、Zr、V、Nb、Ta、Sb、Cr、Mo、W、Mn、Sc、Co、Cu、In、Sn、Ga、Zn、Cd、Fe和Ni中选择的至少一种元素；以及

O：氧。

9.根据权利要求1或2所述的反射镜驱动装置，其中

压电体是由下面的公式(PX)所表示的一种或多种钙钛矿氧化物，

A_a(Zr_x，Ti_y，M_b-x-y)_bO_c... (PX)

在公式中，

A：包含在A位中的并且包含Pb的至少一种元素；

M是V、Nb、Ta和Sb中的至少一种元素；以及

0＜x＜b，0＜y＜b，且0≤b-x-y。