[发明专利]一种柴油流量测量传感器

说明书

技术领域

本发明涉及流量传感器，具体涉及一种柴油流量测量传感器。

背景技术

随着信息技术的高速发展，流量传感器及其系统在发电机组的应用比例越来越大，流量测量方法和仪表的种类繁多，分类方法也很多，至今为止，可供工业用的流量仪表种类达60种之多，品种如此之多的原因就在于至今还没找到一种对任何流体、任何量程、任何流动状态以及任何使用条件都适用的流量仪表，尤其对于柴油发电机组的柴油流量的测量，国内外至今没有一个很好的测量仪器。如现有的电磁流量传感器，它具有传导性的流体在流经电磁场时，通过测量电压可得到流体的速度。但不能测量电导率很低的液体，如石油制品；不能用于较高温度。

柴油发电机组工作环境差，温度高、电磁干扰强，对流量传感器要求特别严格，在柴油流量传感器的研发过程中，不仅要选用性能优异的芯片材料和元器件，还要设计出抗震性好、耐高温、耐腐蚀，而且还要在电路设计中采用集成化和抗电磁干扰措施，以提高流量传感器工作的可靠性和对不同环境的适应性。

发明内容

为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种柴油流量测量传感器，能够测柴油流动时液体从芯片表面带走的热量，感应出在芯片表面的微小空间里的热场分布变化，并且直接转换为毫伏级电压输出信号，本发明无机械运动部件，具有绝缘强度高、耐腐蚀性好、外围电路简单，可靠性高、抗电磁干扰能力强的特点。

为了达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种柴油流量测量传感器，包括陶瓷底板11，陶瓷底板11的中部设置有单晶硅衬底15，单晶硅衬底15通过胶粘剂依次粘接有参考电阻12、上游热电偶13A、加热元14和下游热电偶13B形成传感器芯片，传感器芯片通过金丝16与焊盘17相连接，焊盘17与集成电路18相连接。

所述的单晶硅衬底15经过各向异性腐蚀，形成一个单晶硅的热隔离薄膜，并经过氮化处理，且其上镀有绝缘薄膜。

所述的胶粘剂采用中蓝辰光生产的DG-3S胶粘剂。

所述的集成电路18采用ZMD31010芯片。

本发明采用耐腐蚀、抗老化塑料为磨具，采用专用粘合剂，使检测芯片牢靠、稳定的固定在磨具中，具有很好的密封性和抗老化性。满足了柴油发电机组工作时产生的剧烈震动，避免了管道接口由于长期工作产生渗油、漏油，本产品无机械运动部件、结构简单、安装方便、可靠性高、便于批量生产等优点，符合柴油发电机或发动机的油耗计量。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2是传感器芯片的切面图。

图3是传感器无流量时等温线示意图。

图4是传感器有由左至右的流量时等温线示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的结构原理和工作原理作详细叙述。

参照图1，图2一种柴油流量测量传感器，包括陶瓷底板11，陶瓷底板11的中部设置有单晶硅衬底15，单晶硅衬底15通过胶粘剂依次粘接有参考电阻12、上游热电偶13A、加热元14和下游热电偶13B形成传感器芯片，传感器芯片通过金丝16与焊盘17相连接，焊盘17与集成电路18相连接。

所述的单晶硅衬底15经过各向异性腐蚀，形成一个单晶硅的热隔离薄膜，并经过氮化处理，且其上镀有绝缘薄膜。

所述的胶粘剂采用中蓝辰光生产的DG-3S胶粘剂。

所述的集成电路18采用ZMD31010芯片，是进口可编程数字集成芯片，具有高精度、高稳定性、高可靠性等优点。它能方便对输出的电压差信号进行放大处理。通过计算机进行调试，简单方便。当给柴油流量传感器，配一台二次显示仪表，即可直观明了的观测流量体积。

本发明的工作原理为：