[发明专利]一种柴油流量测量传感器无效
| 申请号： | 201210087084.8 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102620777A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 黄新华 | 申请（专利权）人： | 宝鸡恒通电子有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/56 | 分类号： | G01F1/56 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 弋才富 |
| 地址： | 721013 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柴油 流量 测量 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种柴油流量测量传感器，其特征在于，包括陶瓷底板(11)，陶瓷底板(11)的中部设置有单晶硅衬底(15)，单晶硅衬底(15)通过胶粘剂依次粘接有参考电阻(12)、上游热电偶(13A)、加热元(14)和下游热电偶(13B)形成传感器芯片，传感器芯片通过金丝(16)与焊盘(17)相连接，焊盘(17)与集成电路(18)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种柴油流量测量传感器，其特征在于，所述的单晶硅衬底(15)经过各向异性腐蚀，形成一个单晶硅的热隔离薄膜，并经过氮化处理，且其上镀有绝缘薄膜。
3.根据权利要求1所述的一种柴油流量测量传感器，其特征在于，所述的胶粘剂采用中蓝辰光生产的DG-3S胶粘剂。
4.根据权利要求1所述的一种柴油流量测量传感器，其特征在于，所述的集成电路(18)采用ZMD31010芯片。
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