[发明专利]可辨识正反面的蓝宝石基板的制造方法无效
| 申请号： | 201210080241.2 | 申请日： | 2012-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN103311115A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 曾瑞琴;林育仪 | 申请（专利权）人： | 鑫晶钻科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/304 | 分类号： | H01L21/304;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 辨识 正反面 蓝宝石 制造 方法 | ||
1.一种可辨识正反面的蓝宝石基板的制造方法，其特征在于步骤包含：
切割一蓝宝石晶棒，获得复数个蓝宝石基板，该些蓝宝石基板具有上下相对的一第一面以及一第二面；以及
研磨该第一面或该第二面与该蓝宝石基板一侧面的接面处，形成至少一导角；
其中，于该接面处所形成的该导角具有一导角角度或一导角长度。
2.如权利要求1所述的可辨识正反面的蓝宝石基板的制造方法，其特征在于该侧面为一平面。
3.如权利要求1所述的可辨识正反面的蓝宝石基板的制造方法，其特征在于该蓝宝石基板为沿C轴向、M轴向或R轴向生长的蓝宝石基板。
4.如权利要求1所述的可辨识正反面的蓝宝石基板的制造方法，其特征在于该导角为一圆弧或是一直线。
5.如权利要求1所述的可辨识正反面的蓝宝石基板的制造方法，其特征在于该导角角度介于0～90°。
6.如权利要求1所述的可辨识正反面的蓝宝石基板的制造方法，其特征在于该导角长度介于0～1500mm。
7.一种可辨识正反面的蓝宝石基板的制造方法，其特征在于步骤包含：
切割一蓝宝石晶棒，获得复数个蓝宝石基板，该些蓝宝石基板的侧面包含一平面、一第一弧面与一第二弧面；以及
研磨该第一弧面或该第二弧面与该平面的接面处，使该第一弧面与该第二弧面与该平面的接面处具有相异的曲率半径。
8.如权利要求7所述的可辨识正反面的蓝宝石基板的制造方法，其特征在于该曲率半径介于0～20mm。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
