[发明专利]一种真空吸持装置及真空吸持方法

说明书

技术领域

本发明涉及工业设备技术领域，特别是涉及一种真空吸持装置及真空吸持方法。

背景技术

在平面显示装置制造中，平面显示装置的玻璃基板需要经过清洗、刻胶、显影、曝光等多道工序才能制成液晶面板。为保证生产有序、高效进行，通常需要用到自动化控制、运输或改变材料位置，尤其是在玻璃基板从上一道工序传送到下一道工序过程中，需要用到真空吸持装置进行真空吸持作业。

真空吸持是指真空吸嘴接触玻璃基板，然后抽出真空吸嘴空腔里的空气，形成负压，使空腔内的气体与外界的大气压形成气压差，利用该气压差使真空吸嘴吸持住玻璃基板。图1是现有技术中的真空吸持装置的结构示意图。如图1所示，该真空吸持装置主要由真空管101、移动臂102、多个真空吸嘴103和真空源(未图示)组成，真空管101通过移动臂102与多个真空吸嘴103和真空源组成真空回路。该真空吸持装置经过长时间工作，难免会出现吸嘴磨损、真空源突然不稳定等异常情况。当出现吸嘴磨损时，真空回路形成真空失败，将会导致吸持不成功，极易产生破片情况并造成产品报废。此外，当出现真空源突然不稳定时，真空吸持装置虽能继续工作，但真空吸嘴内形成的负压值或高或低，在负压值低但又不导致吸附不成功时，仍然会产生报警和造成吸持操作停止，设备维护人员需要根据报警进行检查，但这时真空源又可能恢复稳定，导致检查没有结果，而且还停机影响生产。

由于只有一条真空回路，当出现异常情况时，真空吸持装置经常会停机维护，极大影响正常生产。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种真空吸持装置及真空吸持方法，能够降低真空吸持装置停机维护和破片的概率，提高设备生产效率。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种应用于平板显示装置制造的真空吸持装置，该真空吸持装置包括监测单元、各自独立的第一真空回路和第二真空回路。第一真空回路包括依次连接的第一真空吸嘴、第一真空管以及第一真空源，第二真空回路包括依次连接的第二真空吸嘴、第二真空管以及第二真空源，第一真空吸嘴和第二真空吸嘴共同形成吸持区，监测单元用于监测第一真空回路和第二真空回路的工作状态。其中，当监测单元监测到第一真空回路和第二真空回路中至少一个真空回路工作正常时，使吸持操作继续进行；当监测单元监测到第一真空回路和第二真空回路均工作不正常时，使吸持操作停止进行。

其中，该真空吸持装置包括气压显示单元，气压显示单元连接监测单元，显示监测单元监测到的第一真空回路和第二真空回路中的气压值。

其中，气压显示单元为真空表。

其中，该真空吸持装置包括连接监测单元的报警单元，报警单元在监测单元监测到第一真空回路和第二真空回路中至少一个真空回路工作不正常时进行报警。

其中，报警单元在监测单元监测到第一真空回路和第二真空回路均工作不正常时，进行双真空回路同时异常的报警，并提示停止吸持操作；在监测单元监测到第一真空回路或第二真空回路工作不正常时，进行相应真空回路异常的报警。

其中，报警单元为警示灯或警铃。

其中，该真空吸持装置包括移动臂，第一真空吸嘴和第二真空吸嘴均设置于移动臂上。

为解决上述技术问题，本发明还提供了一种真空吸持方法，包括：抽取各自独立的第一真空回路和第二真空回路的空气，使第一真空回路中的第一真空管和第二真空回路中的第二真空管均形成真空，以使第一真空回路中的第一真空吸嘴和第二真空回路中的第二真空吸嘴进行吸持操作；在进行吸持操作过程中监测第一真空回路和第二真空回路的工作状态；在监测到第一真空回路和第二真空回路中至少一个真空回路工作正常时，使吸持操作继续进行；在监测到第一真空回路和第二真空回路均工作不正常时，使吸持操作停止进行。

其中，在监测到第一真空回路和第二真空回路均工作不正常时，使吸持操作停止进行的步骤的同时或之后包括：进行双真空回路同时异常的报警，并提示停止吸持操作。

其中，在监测到第一真空回路和第二真空回路中至少一个真空回路工作正常时，使吸持操作继续进行的步骤包括：在监测到第一真空回路和第二真空回路均工作正常时，使吸持操作继续进行；在监测到第一真空回路或第二真空回路工作不正常时，使吸持操作继续进行，并进行相应真空回路异常的报警。