[发明专利]测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种测试装置。

背景技术

以往，作为用于对存储器等器件进行测试的测试装置，已知有用于对DDR方式等的高速器件进行测试的装置(例如参照专利文献1)。这样的测试装置具有以每种给定测试速度(test rate，测试速率)生成一个图案数据的普通模式和以每种测试速度生成多个图案数据的高速模式。

专利文献1：日本特开2000-11692号公报

发明内容

发明所要解决的问题

测试装置具有用于存储预定的多个图案，并以每种测试速度输出指定图案的数据存储器。由于数据存储器的各图案具有多个图案数据大小的比特，由此能够以每种测试速度生成多个图案数据。

例如，各图案具有：与测试速度的前半部分相对应的前半部分用比特序列；与测试速度的后半部分相对应的后半部分用比特序列。通过根据前半部分用比特序列生成前半部分的图案数据，根据后半部分用比特序列生成后半部分的图案数据，能够生成倍速的图案数据。另外，通过选择前半部分用比特序列与后半部分用比特序列相同的图案，能够生成普通模式下的图案数据。

但是，有时用于指定数据存储器的图案的指定信号的比特数取决于应在普通模式下产生的图案个数。例如，输入至被测试器件的数据图案PAT具有1/0的2个值，在与被测试器件的输出信号相比的期望值图案EXP具有H/L/Z/H的4个值的情况下，只要在普通模式下能够产生2+4＝6个图案即可。在该情况下，指定信号的比特数被设定为3比特。

与此相对，在倍速模式中，测试速度内的数据图案PAT为(前半部分数据，后半部分数据)＝(0，0)、(1，0)、(0，1)、(1，1)的四种。同样，测试速度内的期望值图案EXP有4×4＝16种类。因此，在3比特的指定信号中，无法指定倍速模式下的所有图案。

例如，在3比特的指定信号中能够指定八个图案，因此，当将数据图案PAT分配给四个指定信号的图案时，只能向期望值图案EXP分配四个指定信号的图案。因此，无法分别指定倍速的期望值图案EXP。

用于解决问题的手段

在本发明的第一技术方案中，提供一种测试装置，其根据图案数据来测试被测试器件，其中，所述测试装置具有用于输出与和预定的测试速度同步地分别输入的输入图案对应的图案数据的多个图案输出部，各图案输出部分别具有：在测试速度下输出一个图案数据的普通模式；以及在分割测试速度而成的多个分割速度下分别输出图案数据的高速模式这两个动作模式；在高速模式下，各图案输出部分别将与输入至自己图案输出部中的输入图案相对应的图案数据、与输入至其他图案输出部中的输入图案相对应的图案数据分别作为与多个分割速度对应的图案数据中的至少一种数据输出。

此外，所述发明内容并未列举出本发明的所有必要特征。另外，这些特征群的从属组合也是发明。

附图说明

图1表示根据图案数据来测试被测试器件200的测试装置100的结构例。

图2表示图案输出部30的结构例。

图3表示数据存储器32所存储的表的一个例子。

图4表示波形整形部36所输出的图案数据的一个例子。

图5表示图案输出部30的其他结构例。

图6表示图案输出部30的其他结构例。

图7表示第二图案输出部30的其他结构例。

具体实施方式

以下，通过发明的实施方式来说明本发明，但以下的实施方式并不限定权利要求书所述的发明。另外，实施方式中所述的所有特征组并不受限于发明所必须的解决手段。

图1表示根据图案数据来测试被测试器件200的测试装置100的结构例。被测试器件200是例如包括存储器、逻辑电路和模拟电路中的至少一个的器件。被测试器件200可以是例如半导体器件。

测试装置100向被测试器件200输入基于图案数据的测试信号。测试装置100通过比较被测试器件200根据测试信号而输出的输出信号值与基于图案数据的期望值，判定被测试器件200良好与否。测试装置100具有多个输出入部10(在本例中指输出入部10-1和输出入部10-2)。

各输出入部10与被测试器件200的不同引脚或不同的被测试器件200相连接。各输出入部10分别向被测试器件200输入测试信号，而且从被测试器件200收到输出信号。