[发明专利]测试装置

权利要求书

1.一种测试装置，是根据图案数据来测试被测试器件的测试装置，其特征在于具有多个图案输出部，其输出与和预定的测试速度同步被分别输入的输入图案相对应的所述图案数据；

各图案输出部分别具有如下两个动作模式：在测试速度内输出一个所述图案数据的普通模式，以及在分割测试速度而成的多个分割速度下分别输出所述图案数据的高速模式；

在高速模式下，各所述图案输出部分别将与输入至自己的所述图案输出部中的所述输入图案相对应的所述图案数据，及与输入至其他所述图案输出部中的所述输入图案相对应的所述图案数据分别作为与多个所述分割速度对应的所述图案数据中的至少一种数据输出。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

各所述图案输出部，具有与所述多个分割速度对应设置的多个数据存储器；

各数据存储器，存储表示所述输入图案和所述图案数据之间的关系的工作表，输出与被输入的所述输入图案相对应的所述图案数据。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其中，各所述图案输出部还具有：

输入切换部，其在所述普通模式下，将输入至自己的所述图案输出部的所述输入图案分别输入至各所述数据存储器，在所述高速模式下，将输入至其他所述图案输出部中的所述输入图案输入到至少一个所述数据存储器；以及

波形整形部，其输出与所述多个数据存储器所输出的所述图案数据相对应的信号。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其中，各所述图案输出部还具有引脚选择部，所述引脚选择部在所述高速模式下，选择输入至其他任一所述图案输出部中的所述输入图案，并使其输入至所述至少一个所述数据存储器中。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的测试装置，其中，在设置于同一个所述图案输出部的所述数据存储器中，存储有同一所述工作表。

6.根据权利要求3或4所述的测试装置，其中，在所述高速模式下，

第一图案输出部的所述输入切换部将第二图案输出部的所述输入图案输入至所述第一图案输出部的任一所述数据存储器中；

所述第二图案输出部的所述输入切换部将所述第一图案输出部的所述输入图案输入至所述第二图案输出部的任一所述数据存储器中。

7.根据权利要求6所述的测试装置，其中，所述测试装置还具有反转控制部，其用于控制所述第二图案输出部是否输出与所述第一图案输出部反转后的信号。

8.根据权利要求7所述的测试装置，其中，在设置于同一所述图案输出部的所述数据存储器中，存储有同一所述工作表；

所述反转控制部用于控制是否在所述第二图案输出部的所述数据存储器中存储与所述第一图案输出部的所述数据存储器同样的所述工作表，或者存储使所述图案数据反转后的所述工作表。

9.根据权利要求2所述的测试装置，其中，所述测试装置还具有：

多个驱动器，其与所述多个图案输出部对应地设置，用于输出与所对应的所述图案输出部所输出的所述图案数据对应的测试信号；和

多个比较部，其与所述多个图案输出部对应地设置，用于对与所对应的所述图案输出部输出的所述图案数据对应的期望值和所述被测试器件的输出信号值进行比较，

所述数据存储器用于存储使所述图案数据与各所述输入图案分别相对应的所述工作表，所述图案数据含有：表示所述测试信号的逻辑值的比特、表示控制是否使驱动器动作的比特、以及表示所述期望值的比特。