[发明专利]钛-铝系金属间化合物表面渗镀铝的方法

权利要求书

1.钛-铝系金属间化合物表面渗镀铝的方法，其特征在于包括以下步骤：将纯铝材置于坩埚内，所述坩埚导电，形成渗镀源极，然后将坩埚放入真空室，钛-铝系金属间化合物工件置于坩埚上方并向真空室充入氩气，加直流负电压使源极中铝材熔化并保持放电溅射状态，然后加钛-铝系金属间化合物工件负电压使工件升温到700~1200℃，保温0.5~8h完成渗镀。

2.根据权利要求1所述的钛-铝系金属间化合物表面渗镀铝的方法，其特征是：所述的源极坩埚材料为石墨、难熔金属或耐高温合金。

3.根据权利要求1所述的钛-铝系金属间化合物表面渗镀铝的方法，其特征是：所述的源极与钛-铝系金属间化合物工件间距为10~50mm。

4.根据权利要求1所述的钛-铝系金属间化合物表面渗镀铝的方法，其特征是：所述真空室充入氩气后的工作气压为10~80Pa。

5.根据权利要求1所述的钛-铝系金属间化合物表面渗镀铝的方法，其特征是：加于源极的电压为-300 ~ -800V。

6.根据权利要求1所述的钛-铝系金属间化合物表面渗镀铝的方法，其特征是：加于工件的电压为-500 ~ -1200V。