[发明专利]一种小尺寸固体样品热膨胀测量装置

权利要求书

1.一种小尺寸固体样品热膨胀测量装置，用于测量被测样品(10)的受热膨胀变形程度；其特征在于：所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置由下述几个部分组成：样品台(1)、反光片(3)、激光发射装置(4)、激光接收装置(5)；其中：被测样品(10)布置在样品台(1)上，被测样品(10)一端的端部被限定在样品台(1)上且其位置不能变化，被测样品(10)的另一端的端部紧贴并顶紧在反光片(3)的背面，用于反射激光发射装置(4)发出的光的反光片(3)布置在样品台(1)上或者靠近样品台(1)布置；激光发射装置(4)和激光接收装置(5)都布置在反光片(3)的反光面一侧。

2.按照权利要求1所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置，其特征在于：

所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置中，激光接收装置(5)的布置位置设在激光发射装置(4)发出的光经过反光片(3)反射后的反光光路可能出现的区域上；

所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置中，反光片(3)为耐高温材料件，其反光面所在平面经过抛光处理；

样品台(1)的材料为耐高温材料。

3.按照权利要求2所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置，其特征在于：所述反光片(3)材质为单晶硅。

4.按照权利要求3所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置，其特征在于：所述反光片(3)为厚度较薄的长方形板状结构，其尺寸满足要求：长度5-15mm，宽度1-3mm，厚度0.03-0.08mm。

5.按照权利要求2或3或4所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置，其特征在于：样品台(1)材料为石英玻璃；

样品台(1)上部设置有用于放置被测样品(10)的平面或槽结构。

6.按照权利要求5所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置，其特征在于：所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置中，在激光发射装置(4)附近还设置有用于调整射入反光片(3)的入射光的入射角度的反光镜(6)。

7.按照权利要求6所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置，其特征在于：所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置中，激光发射装置(4)为可见光半导体激光器，激光接收装置(5)为位置敏感探测器PSD。

8.按照权利要求7所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置，其特征在于：所述激光发射装置(4)发射的激光信号为方波调制的信号。

9.按照权利要求8所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置，其特征在于：所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置中还设置有用于安装被测样品(10)和反光片(3)的支架(2)，支架(2)上设置有用于安装被测样品(10)和反光片(3)的矩形或者梯形槽结构；

所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置中还设置有用于加热被测样品(10)的高温炉；上述的被测样品(10)、样品台(1)、反光片(3)同时放置在高温炉内。

10.按照权利要求8所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置，其特征在于：所述小尺寸固体样品热膨胀测量装置中还设置有连接作为激光接收装置(5)的位置敏感探测器PSD的信号处理电路和控制器；信号处理电路同时连接着控制器。