[发明专利]光酸产生剂、其制备方法及包含光酸产生剂的抗蚀剂组合物

权利要求书

1.由下式(1)表示的光酸产生剂：

[化学式1]

其中，在式(1)中，

Y表示选自烷基、烯基、烷氧基、环烷基、杂环烷基、芳基和杂芳基中的任一基团；

X表示选自亚烷基、亚烯基、NR’、S、O、CO及它们的组合中的任一基团；而R’表示选自氢原子和烷基中的任一基团；

R₁和R₂各自独立地表示选自氢原子、烷基、烷氧基、全氟烷基、全氟烷氧基、卤素、羟基、羧基、氰基、硝基、氨基和硫代基中的任一基团；

n₁表示1或2的整数；

n₂表示0-5的整数；并且

A⁺表示有机反荷离子。

2.根据权利要求1所述的光酸产生剂，其中

Y表示选自烷基、烯基、烷氧基、环戊基、环己基、十氢化萘基、八氢-1H-茚基、金刚烷基、降冰片基、四氢呋喃基、包含降冰片基的具有10-30个碳原子的多环环烷基、苯基、萘基、联苯基、蒽基、菲基、芴基、芘基、非那烯基、茚基、亚联苯基、二苯基甲基、四氢化萘基、二氢化蒽基、四苯基甲基和三苯基甲基中的任一基团。

3.根据权利要求1所述的光酸产生剂，其中

Y表示选自烷基、烯基、烷氧基以及由以下的式(1-a)至(1-i)和式(2-a)至(2-l)表示的基团中的任一基团：

[化学式1-a]

[化学式1-b]

[化学式1-c]

[化学式1-d]

[化学式1-e]

[化学式1-f]

[化学式1-g]

[化学式1-h]

[化学式1-i]

其中，在式(1-a)至(1-i)中，

R₁₁和R₁₂各自独立地表示选自氢原子、烷基、烷氧基、全氟烷基、全氟烷氧基、卤素原子、羟基、羧基、氰基、硝基、氨基、硫代基、甲硫基、甲氧基、OR’、COR’、COOR’、O和S中的任一基团；而R’表示选自烷基和芳基中的任一基团；

R₂₁表示选自CR₂₄R₂₅、O、CO、S和NR₂₃中的任一基团；R₂₃-R₂₅各自独立地表示选自氢原子、烷基和芳基中的任一基团；

a、c和d各自独立地表示0-9的整数；b表示0-11的整数；e表示0-15的整数；f表示0-7的整数；0≤c+d≤17；同时0≤c+f≤15；

[化学式2-a]

[化学式2-b]

[化学式2-c]

[化学式2-d]

[化学式2-e]

[化学式2-f]

[化学式2-g]

[化学式2-h]

[化学式2-i]

[化学式2-j]

[化学式2-k]

[化学式2-l]

其中，在式(2-a)至(2-l)中，

R₁₁、R₁₂、R₁₃和R₁₄各自独立地表示选自烷基、烷氧基、全氟烷基、全氟烷氧基、卤素原子、羟基、氰基、硝基、氨基和硫代基中的任一基团；

R₂₁和R₂₂各自独立地表示选自CR₂₄R₂₅、O、CO、S和NR₂₃中的任一基团；R₂₃-R₂₅各自独立地表示选自氢原子、烷基和芳基中的任一基团；

a、h和i各自独立地表示0-5的整数；b表示0-3的整数；c和d各自独立地表示0-4的整数；e、f和g各自独立地表示0-2的整数；并且0≤c+d+e≤9。