[发明专利]共焦计测装置

权利要求书

1.一种共焦计测装置，利用共焦光学系统来对计测对象物的位移进行计测，其特征在于，

具有：

光源，其出射多个波长的光，

衍射透镜，其使从所述光源出射的光，沿光轴方向产生色差，

物镜，其配置在比所述衍射透镜更靠近所述计测对象物的一侧，用于使通过所述衍射透镜而产生了色差的光会聚在所述计测对象物上，

针孔，其使通过所述物镜而会聚的光中的能够对焦于所述计测对象物上的光通过，

测定部，其以波长为单位对通过了所述针孔的光的强度进行测定；

所述衍射透镜的焦距，大于从所述衍射透镜到所述物镜为止的距离和所述物镜的焦距之差。

2.根据权利要求1记载的共焦计测装置，其特征在于，

从所述衍射透镜到所述物镜为止的距离，大致与所述物镜的焦距相等。

3.根据权利要求1或2记载的共焦计测装置，其特征在于，

所述物镜能够更换。

4.根据权利要求1至3中的任一项记载的共焦计测装置，其特征在于，

在从所述衍射透镜到所述测定部为止的光路上具有光纤；

将所述光纤作为所述针孔来使用。

5.根据权利要求1至4中的任一项记载的共焦计测装置，其特征在于，

所述衍射透镜具有玻璃基板和树脂层，该树脂层形成在所述玻璃基板的至少一个面上，并且，该树脂层具有使光沿光轴方向产生色差的图案。