[发明专利]基于MEMS技术的阵列式气味检测元件

权利要求书

1.一种基于MEMS技术的阵列式气味检测元件，包括半导体基底（1），以及在半导体基底（1）上采用MEMS加工工艺加工得到的：气味敏感单元、用以检测气味敏感单元工作温度的感温单元（2）、用以将气味敏感单元加热至所需工作温度的加热单元（3）；其特征在于：所述气味敏感单元包含按照阵列排布的若干气敏型金属氧化物薄膜（4），且各薄膜为尺寸参数各异的同种气敏型金属氧化物，各薄膜上分别设有两个用于与数据采集设备连接的电极（5）。

2.应用权利要求1所述阵列式气味检测元件的电子鼻识别目标气体的方法，其特征在于：所述电子鼻包括基于MEMS技术的阵列式气味检测元件、数据采集设备、与数据采集设备输出端连接的模式识别系统，检测元件与数据采集设备连接；模式识别系统按如下步骤识别目标气体：

信息获取步骤，经数据采集设备获取检测元件中各气敏型金属氧化物薄膜对目标气体的响应特性曲线；

识别步骤，对信息获取步骤获得的响应特性曲线组进行分析，选取反映各响应特性曲线的特性参数，将各响应特性曲线的特征参数与基准响应特性曲线组各曲线的对应特征参数进行逐一比较，如比较结果一致，则相应基准响应特性曲线组对应的目标气体种类和浓度即是电子鼻的检测结果。