[发明专利]反射式差动共焦透镜焦距测量方法

说明书

技术领域

本发明属于光学精密测量技术领域，可用于透镜焦距的检测与光学系统装配过程中的高精度焦距测量。 

技术背景

焦距测量是一个古老而经典的透镜参数测量专题，其重要性当然是不言而喻的。焦距是透镜众多参数中最重要的参数之一，对于透镜设计而言，无非就是调整各个参数以保证透镜焦距满足设计要求并且成像性能满足系统要求。透镜焦距测量通常包括顶焦距测量和焦距测量，在系统的设计和装调过程中，这两个参数通常密不可分，所以就要求能同时对透镜的顶焦距和焦距进行高精度的测量。且近些年来，随着科学技术的迅猛发展，在实际应用中人们对所使用透镜各种参数的精度也提出了越发严格的要求，这就要求我们不断寻找一种能更高精度测量透镜顶焦距和焦距的方法。 

针对透镜顶焦距及焦距测量的方法，传统的有目视调焦放大率法。该方法将被测透镜放置于平行光管物镜前，并将平行光管物镜焦面上的分划板的一对刻线成像在被测透镜焦面上，通过测量放大后刻线的间距进而求得被测透镜的焦距。该方法由于需要通过测量人员在光具座上逐项进行目视定焦、观测、记录、分析处理数据，所以存在效率低、测值不稳定等缺点，其测量准确度通常为0.3％左右。近些年随着光电技术及计算机处理技术的发展，该方法已逐步被一种采用光电探测器和数字图像处理测量透镜顶焦距及焦距的方法所替代。由于该方法避免了测量过程中由人为因素产生的误差，系统的测量精确度得到了很大程度的提高。 

此外，测量透镜顶焦距及焦距的方法还有自准直望远镜法和自准直显微镜法两种，这两种方法均是通过将被测透镜放置在自准直仪上来实现。用自准直显微镜测量正透镜顶焦距和焦距的准确度较常用的放大率法高出5～30倍，而且设备简单。自准直望远镜较多用于测量负透镜的焦距和顶焦距，还用于测量甚长焦距的正透镜的焦距，但其测量准确度较低。 

当然，除上述三种经典的透镜顶焦距及焦距测量方法之外，国内外学者还提出了很多新的测量方法，发表的文献包括：发表在《中国测试技术》中的《泰伯-莫尔法测量长焦距系统的焦距》，发表在《光子学报》中的《Ronchi光栅Talbot效应长焦距测量的准确度极限研究》，发表在《The Optical Society of  America》中的《Focal length measurements for the National Ignition Facility large lenses》，发表在《APPLIED OPTICS》中的《Talbot interferometry for measuring the focal length of a lens》等，本发明人也曾在《OPTICS EXPRESS》中发表文章《Laser differential confocal ultra-long focal length measurement》。但以上文献提出的透镜顶焦距及焦距测量方法均仅适用于测量超长焦距，若用于一般焦距及较短焦距的测量，则或误差较大或无法实现。 

近年来，国内外显微成像领域的差动共焦技术迅速发展，该技术以轴向的光强响应曲线作为评价尺度。由于光学系统的物距变化引起的轴向放大率变化是垂轴放大率变化的平方，所以该方法的灵敏度高于垂轴方向的评价方法，并且该方法采用光强作为数据信息，相比图像处理方法具有更高的抗环境干扰能力。例如中国专利“具有高空间分辨率的差动共焦扫描检测方法”(专利号：200410006359.6)，其提出了超分辨差动共焦检测方法，使系统轴向分辨力达到纳米级，并显著提高了环境抗扰动能力。 

本发明人在差动共焦显微成像技术的启发下，率先提出将差动共焦测量技术应用于元件参数测量领域，利用差动共焦技术的高轴向分辨率提高元件参数的检测精度，现已申请多项国家发明专利，例如专利“差动共焦曲率半径测量方法与装置”(专利号：200910082249.0)，专利“基于差动共焦技术的透镜折射率与厚度的测量方法及装置”(专利号：201010105743.7)，专利“差动共焦镜组轴向间隙测量方法与装置”(专利号：201010000553.9)等。 

本发明是基于差动共焦技术的又一元件参数测量方法，该技术相比于以往测量方法具有测量精度高、抗干扰能力强及智能化程度高等诸多优点，并且该技术易与环形光瞳滤波器等技术融合，能更进一步提高测量精度。 

发明内容