[发明专利]带有定位点的电铸网板的制作方法

权利要求书

1.一种带有定位点的电铸网板的制作方法，包括电铸网板的制作和定位点的制作，其特征在于，所述定位点的制作步骤包括：

将固定好的电铸网板放在切割基台上；

随意选取在电铸网板上处于对角的两个开口，通过CCD读取开口特定点坐标，通过特定点的坐标，定位电铸网板，通过与原始文件的对比，确定定位点的坐标；

调整好切割参数，调整好激光切割头的纵向高度，使其激光焦点落在电铸网板表面；

通过激光切割头发射出激光，在电铸网板表面的定位点区域进行切割。

2.根据权利要求1所述的的制作方法，其特征在于，电铸网板的制作包括：芯模前处理、 贴膜、曝光、单面显影、电铸、褪膜、剥离和网板后处理。

3.根据权利要求2所述的的制作方法，其特征在于，

所述芯模前处理包括：将芯模除油、酸洗、喷砂，以去除表面的油渍杂质，并将表面打磨光滑；

所述贴膜包括：将芯模表面进行贴膜；

所述曝光包括：使图形开口区域曝光，以便将未曝光区域通过显影去除，留下曝光的部分以作后续电铸步骤的保护膜；

所述单面显影包括：将所述曝光步骤中未曝光部分显影，留下曝光的部分以作后续电铸步骤的保护膜；

所述电铸包括：采用电铸的方法将电铸材料电铸到曝光区域；

所述褪膜包括：将显影工序中未清除的曝光干膜通过褪膜液的浸泡刷洗褪除干净；

所述剥离包括：将掩模板从芯模上剥离；

所述网板后处理包括：将从芯模上剥离下来的电铸网板除油、酸洗、风干。

4.根据权利要求1所述的的制作方法，其特征在于，所述定位点的制作步骤包括：

将固定好的电铸网板放在切割基台上；

随意选取电铸网板上的处于对角的两个矩形开口，通过CCD读取两矩形开口顶角坐标A（x_a、y_a）、B（x_b、y_b），通过A、B两点的坐标，定位电铸网板，通过与原始文件的对比，确定定位点的坐标；

调整好切割参数，调整好激光切割头的纵向高度，使其激光焦点落在电铸网板表面；

通过激光切割头发射出激光，在电铸金属网板表面的定位点区域进行切割。

5.根据权利要求1所述的的制作方法，其特征在于，所述定位点的制作步骤包括：

将固定好的电铸网板放在切割基台上；

随意选取电铸网板上处于对角的两个圆形开口，通过CCD读取两圆形开口中心点坐标O₁（x₁、y₁）、O₂（x₂、y₂），通过O₁、O₂的坐标，定位电铸网板，通过与原始文件的对比，确定定位点的坐标；

调整好切割参数，调整好激光切割头的纵向高度，使其激光焦点落在电铸网板表面；

通过激光切割头发射出激光，在电铸金属网板表面的定位点区域进行切割。

6.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，在CCD定位时作出切割坐标补偿，避免激光切割定位点时，所切范围超出了定位点的要求区域。

7.根据权利要求1、4或5所述的制作方法，其特征在于，所述切割的参数包括：

切割速率为10000～20000孔/小时；

能量为500～2000 mj；

气体压力为2～8 MPa；

电流为500～1000 mA；

激光频率为6000-8000 Hz；

直线切割速度为100-200 cm.min^-1。

8.根据权利要求1-6所述的制作方法，其特征在于，所述定位点为圆形或者方形，所述圆形定位点直径的尺寸或者所述方形定位点对角线的尺寸为0.5-2mm；激光在孔内切割为横纵列阵交错切割，切割的细线线径在5-25μm，间距为10-50μm。

9.根据权利要求1-6所述的制作方法，其特征在于，所述定位点的个数至少为两个，且处于电铸网板的对角位置。