[发明专利]镜框固定装置

说明书

技术领域

本发明涉及光刻机生产相关领域，尤其涉及一种镜框固定装置。

背景技术

在大规模半导体集成电路的前端制造设备中，光刻机是最复杂、要求最高的设备，它集光机电技术于一身，而物镜在光刻机中是核心部件，是光刻机的心脏，因此对于物镜的设计要求很高。

当前，物镜的成像质量要求越来越高从而对镜片面型的要求也越来越高，这就对在物镜设计中镜框的固定方式提出了更高的要求，目前使用螺钉直接固定物镜镜框是一个常见的方法，需要通过在上、下镜框之间增加垫圈并进行修磨来实现上镜框中镜片的倾斜角度和高度的调整，这样的方式对垫圈的研磨要求很高，但工作效率却不高，装配不方便，并且容易对镜片产生应力以影响光刻机的质量，因此，这种固定方式不能满足现代物镜镜框的固定需求。

发明内容

本发明提供一种镜框固定装置，既能够满足镜框和镜片的安装精度要求，又不影响镜片的面型。

本发明提供一种镜框固定装置，其用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，所述镜框固定装置包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔，所述螺钉套筒的长度大于所述上镜框的厚度，所述螺钉套筒旋合于上镜框的螺纹孔中，所述螺钉套筒的下端与所述下镜框的上表面相接触，所述螺钉穿过所述螺钉套筒固定于所述下镜框中。

进一步的，所述螺钉包括螺帽和螺纹部分，所述螺纹部分的一端与所述螺帽连接，所述螺纹部分上设有螺钉外螺纹，所述下镜框中设有具有与该螺钉外螺纹对应内螺纹的下螺纹孔，所述螺纹部分的另一端穿过螺钉套筒后，通过和所述下螺纹孔旋合，固定于所述下镜框中。

进一步的，所述螺纹部分与所述螺钉套筒之间留有空隙。

进一步的，所述螺钉固定装置还包括组合垫圈，所述螺纹部分的另一端依次穿过所述组合垫圈与螺钉套筒后固定于所述下镜框中。

进一步的，所述组合垫圈包括第一垫圈和第二垫圈，所述第一垫圈的一个面为凹面，所述第二垫圈的一个面为凸面，所述凹面与凸面的形状相匹配。

进一步的，所述螺钉固定装置的数量为三个，所述三个螺钉固定装置间隔相等的角度固定安装于所述物镜镜框中。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

该镜框固定装置通过调整螺钉固定装置就可以实现对上镜框中镜片的倾斜角度和上、下镜片间隔的调整，在安装时，先将螺钉套筒固定安装于上镜框中，再将组合垫圈中的第一垫圈与第二垫圈组合起来放置于螺钉套筒上，接着将螺钉穿过组合垫圈及螺钉套筒与下镜框连接，上下调节螺钉固定装置中的螺钉套筒，以调整上镜框与下镜框之间的距离或倾斜角度，最后将螺钉拧紧固定于下镜框中，完成物镜镜框的固定工作，该镜框固定装置结构简单，易安装，安装效率高，稳定牢固，并且由于有组合垫圈及螺钉与螺钉套筒之间的空隙，所以调整上、下镜框的距离及倾斜角度时不会对镜框产生太大的扭曲变形，从而可以保证在螺钉拧紧时不会对镜框产生应力，因此镜框中的镜片就不会受到在螺钉拧紧时产生的应力的影响而变形，保证了镜片的面型及光刻机的质量。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明：

图1为本发明实施例提供的镜框固定装置安装于镜框上时的结构示意图。

图2为本发明实施例提供的镜框固定装置螺钉套筒的结构示意图。

图3为本发明实施例提供的镜框固定装置螺钉套筒的截面图。

图4为本发明实施例提供的镜框固定装置组合垫圈的结构示意图。

图5为本发明实施例提供的镜框固定装置的结构示意图。

图6为本发明实施例提供的镜框固定装置安装于镜框上时的局部截面图。

在图1至图6中，

100：螺钉固定装置；110：螺钉套筒；120：螺钉；121：螺帽；122：螺纹部分；200：组合垫圈；210：第一垫圈；220：第二垫圈；300：镜框；310：上镜框；311：上螺纹孔；320：下镜框；321：下螺纹孔；400：镜片。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的镜框固定装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。