[发明专利]镜框固定装置

权利要求书

1.一种镜框固定装置，用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，其特征在于：包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔，所述螺钉套筒的长度大于所述上镜框的厚度，所述螺钉套筒旋合于上镜框的上螺纹孔中，所述螺钉套筒的下端与所述下镜框的上表面相接触，所述螺钉穿过所述螺钉套筒固定于所述下镜框中。

2.根据权利要求1所述的镜框固定装置，其特征在于，所述螺钉包括螺帽和螺纹部分，所述螺纹部分的一端与所述螺帽连接，所述螺纹部分上设有螺钉外螺纹，所述下镜框中设有具有与该螺钉外螺纹对应内螺纹的下螺纹孔，所述螺纹部分的另一端穿过螺钉套筒后，通过和所述下螺纹孔旋合，固定于所述下镜框中。

3.根据权利要求2所述的镜框固定装置，其特征在于，所述螺纹部分与所述螺钉套筒之间留有空隙。

4.根据权利要求2所述的镜框固定装置，其特征在于，所述螺钉固定装置还包括组合垫圈，所述螺纹部分的另一端依次穿过所述组合垫圈与螺钉套筒后固定于所述下镜框中。

5.根据权利要求4所述的镜框固定装置，其特征在于，所述组合垫圈包括第一垫圈和第二垫圈，所述第一垫圈的一个面为凹面，所述第二垫圈的一个面为凸面，所述凹面与凸面的形状相匹配。

6.根据权利要求1至5任一项所述的镜框固定装置，其特征在于，所述螺钉固定装置的数量为三个，所述三个螺钉固定装置间隔相等的角度固定安装于所述物镜镜框中。