[发明专利]印模及其制造方法

权利要求书

1.一种印模，包括：

金属支撑层，具有第一热导率；

图案形成层，设置于所述金属支撑层上，所述图案形成层具有其上形成有模制图案的表面；以及

粘附层，设置于所述金属支撑层与所述图案形成层之间，以将所述图案形成层结合于所述金属支撑层，所述粘附层具有小于所述第一热导率的第二热导率。

2.根据权利要求1所述的印模，其中，所述粘附层包含纤维增强塑料。

3.根据权利要求1所述的印模，其中，所述粘附层包含聚合物。

4.根据权利要求1所述的印模，其中，所述图案形成层包含镍。

5.一种印模的制造方法，所述方法包括：

在具有第一热导率的金属支撑层上设置粘附层，所述粘附层具有小于所述第一热导率的第二热导率；

在所述粘附层上设置图案形成层，所述图案形成层具有在所述图案形成层的第一表面上的模制图案；以及

将所述金属支撑层、所述粘附层和所述图案形成层压合在一起。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述图案形成层通过电成形工艺形成。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述图案形成层的形成包括：

形成母板，所述母板具有在所述母板的表面上的对应于所述模制图案的复制图案；

在所述母板的复制图案上形成电成形复制层；以及

将所述电成形复制层与所述母板分离，所述电成形复制层具有其上形成有所述模制图案的表面。

8.根据权利要求7所述的方法，进一步包括将所述电成形复制层的第二表面抛光成平坦。

9.根据权利要求5所述的方法，进一步包括将所述金属支撑层的暴露表面抛光。

10.根据权利要求5所述的方法，其中，所述粘附层包含纤维增强塑料。