[发明专利]太阳能电池集电极形成装置及其方法和涂布头无效
申请号: | 201180062867.4 | 申请日: | 2011-12-19 |
公开(公告)号: | CN103270605A | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
发明(设计)人: | 渡边道弘;齐藤忠之;田岛淳一;佐藤和恭;植村直仁 | 申请(专利权)人: | 株式会社SAT;株式会社日立高新技术 |
主分类号: | H01L31/04 | 分类号: | H01L31/04;B05C5/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 宋俊寅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 集电极 形成 装置 及其 方法 布头 | ||
1.一种太阳能电池集电极的形成装置,其特征在于,
该太阳能电池在利用光入射来产生光生载流子的光电转换部的光入射面上采用对所述光生载流子进行收集的多个指状电极、以及对该多个指状电极所收集到的所述光生载流子进行收集的母线电极结构,在该太阳能电池的制造中,使太阳能电池基板(电池单元)移动,同时从包括多个喷出喷嘴孔的涂布头中喷出加压后的集电极材料来一并形成太阳能电池集电极,其中该喷出喷嘴孔具有长孔截面。
2.一种太阳能电池集电极的形成方法,其特征在于,
该太阳能电池在利用光入射来产生光生载流子的光电转换部的光入射面上采用对所述光生载流子进行收集的多个指状电极、以及对该多个指状电极所收集到的所述光生载流子进行收集的母线电极结构,在该太阳能电池的制造中,使太阳能电池基板(电池单元)移动,同时从包括多个喷出喷嘴孔的涂布头中喷出加压后的集电极材料来一并形成太阳能电池集电极,其中该喷出喷嘴孔具有长孔截面。
3.如权利要求1所述的太阳能电池集电极的形成装置,其特征在于,
利用具有长孔截面的喷出喷嘴孔的长轴与集电极的涂布方向相一致的涂布头,来喷出加压后的集电极材料,从而一并形成太阳能电池集电极。
4.如权利要求1或3所述的太阳能电池集电极的形成装置,其特征在于,
包括涂布头,该涂布头的来自各个具有长孔截面的喷出喷嘴孔的喷出流动方向相对于基板的移动方向,朝相反侧倾斜。
5.一种太阳能电池集电极的形成方法,其特征在于,
在权利要求4所述的太阳能电池集电极的形成装置中,使用对太阳能电池的指状电极材料进行喷出且来自各个具有长孔截面的喷出喷嘴孔的喷出方向相对于基板的移动方向朝相反侧倾斜的涂布头。
6.如权利要求1、3、4中的任一项所述的太阳能电池集电极的形成装置,其特征在于,
头中具备开关阀,该开关阀能够依次对形成各电极的各喷嘴的喷出/停止进行切换,以使得配合与所述太阳能电池基板(电池单元)的形状相对应的电极图案。
7.一种太阳能电池集电极形成用头,其特征在于,
在权利要求6所述的太阳能电池电极的形成装置所使用的涂布头中,所具备的开关阀能够利用机构来控制是否从各个喷出喷嘴孔中进行喷出,其中,该机构能够在与被涂布材料所填充的喷出通路的供给方向垂直的方向上滑动。
8.一种太阳能电池集电极的形成方法,其特征在于,
在权利要求6所述的太阳能电池集电极的形成装置中,使用权利要求7所述的涂布头。
9.如权利要求1、3、4、6中的任一项所述的太阳能电池集电极的形成装置,其特征在于,
所装载的涂布头是将对喷出喷嘴孔的间隔进行规定的块件、和将喷出通路切削后的薄层的间隔件交替层叠堆积后得到的涂布头。
10.一种太阳能电池集电极的形成方法,其特征在于,
在权利要求9所述的太阳能电池集电极的形成装置中,使用所述层叠堆积后得到的涂布头。
11.一种涂布头,其特征在于,
在具有多个喷出喷嘴孔、以及向该喷出喷嘴孔提供粘性涂布溶液的喷出通路,并从喷出喷嘴孔中喷出涂布溶液来形成图案的涂布装置中,具备以下结构:将对多个喷出喷嘴孔的间隔进行规定的块件、和具有通过切削加工形成的喷出通路的薄层的间隔件交替层叠,并用堆叠螺栓进行固定。
12.如权利要求11所述的涂布头,其特征在于,
由块件和间隔件所形成的喷出喷嘴孔的截面形状为正方形。
13.如权利要求11或12所述的涂布头,其特征在于,
该涂布头是层叠型涂布头,设有与微细的各喷出喷嘴孔列平行、且在涂布溶液的公共供给通路内滑动的阀,能够通过各喷出喷嘴孔的开关来控制是否喷出。
14.一种涂布头的制造方法,其特征在于,
所述涂布头是权利要求11、权利要求12及权利要求13所述的层叠型涂布头。
15.一种太阳能电池集电极形成用头,其特征在于,
在权利要求6所述的太阳能电池集电极的形成装置所使用的涂布头中,所具备的开关阀具有与喷出涂布材料的喷出口列平行的旋转轴,并且呈侧面上具有切口的圆柱形,通过使该开关阀进行旋转,从而能够控制是否从各喷出喷嘴孔进行喷出。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的