[发明专利]研磨用具

说明书

技术领域

本发明涉及一种研磨用具。

背景技术

由于在适用于液晶显示器用的玻璃板（板状体）的表面存在的微小的凹凸、波纹成为给图像带来变形、颜色不均的原因，因此通过研磨装置除去该微小的凹凸、波纹。专利文献1公开的研磨装置将由托架保持的玻璃板按压于在研磨平台上安装的研磨垫（研磨用具）上，并使研磨平台及托架相对移动，来除去玻璃板的微小的凹凸、波纹。

另外，专利文献1公开的研磨垫对一边超过2000mm的大尺寸的玻璃板进行研磨，由于其制作上的问题，而未构成作为一体品（一张研磨垫），而通过将小尺寸的多张研磨垫片在研磨平台上铺满来构成。

此外，在专利文献2中，公开了一种良好地修整由多张研磨垫片构成的研磨垫的表面的修整砂轮。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公报第2007/020859号公报

专利文献2：国际公报第2007/043263号公报

发明内容

然而，在将多张研磨垫片铺满在研磨平台上而构成的专利文献1的研磨垫中，在玻璃板的研磨中，玻璃板的端部有时会破损。

本发明鉴于这种情况而作出，其目的在于提供一种在研磨平台上铺满多张研磨垫片而构成的研磨用具中能够防止板状体的破损的研磨用具。

本发明为了实现所述目的，提供一种研磨用具，在研磨平台上铺满多张研磨垫片而构成，其中，对所述研磨垫片的表面与端面的交界边部施加斜面。

本申请发明者在研磨平台上铺满多张研磨垫片而构成的研磨用具中，仔细研究了使用该研磨用具时产生的板状体的破损原因，其结果是得到了如下的见解。

即，板状体由向研磨用具与板状体之间赋予的研磨压力研磨，但此时，与板状体接触的研磨垫片在研磨压力的作用下发生弹性变形而向研磨平台侧沉入。由此，在沉入的研磨垫片和与该研磨垫片相邻且与板状体未接触（未沉入）的研磨垫片之间产生台阶部。并且查明了如下情况：在研磨中移动的板状体的端部与台阶部即未沉入的研磨垫片的侧面部发生碰撞或卡挂，由此板状体的端部发生破损。

因此，为了防止这种不良情况，本申请发明对研磨垫片的表面与端面的交界边部施加了斜面。即，在多张研磨垫片的接缝部，通过倒角加工而对研磨垫片的脊面部施加了所述斜面。

由此，在研磨中移动的板状体的端部从当前接触的研磨垫片，沿着接下来接触的研磨垫片的所述斜面顺畅地触碰到下一研磨垫片。由此，根据本发明，能够消除板状体的端部与台阶部发生碰撞或卡挂这样的以往的问题，因此能够防止板状体的破损。

本发明的研磨垫片优选经由弹性体的密封材料而由所述研磨平台真空吸附保持。

作为使研磨垫片保持于研磨平台的单元，采用真空吸附保持单元时，在研磨平台上开设多个吸引孔，这些吸引孔与吸引泵连接。而且，不是使研磨垫片直接真空吸附保持于研磨平台，而是经由软质且弹性体的密封材料将研磨垫保持于研磨平台。由此，研磨垫片相对于研磨平台的真空吸附性提高。

然而，当使用密封材料时，由于密封材料为软质，因而研磨垫片的所述沉入量可能增大。然而，本发明由于板状体的端部触碰到所述斜面的作用，即便使用密封材料，也能够防止板状体的破损。

根据本发明，所述密封材料的压缩率优选为10～40%，其中，所述压缩率遵照JIS L1021-6的附件1，且设初始载荷为100gf/cm²、设最终载荷为1120gf/cm²。

当压缩率超过40%时，研磨垫片相对于研磨平台的吸附保持性（密封性）良好，但由于密封材料过度柔软，因此密封材料的耐久性降低。另一方面，当密封材料的压缩率小于10%时，密封材料过硬，而密封性降低，因此不优选。

本发明的所述研磨垫片优选经由研磨垫支承构件而安装在所述密封材料上。

根据本发明，由于能够利用研磨垫支承构件对研磨垫片进行加强，因此能够延长研磨垫片的使用寿命。

根据本发明，优选的是，相对于所述研磨用具相对移动的板状体的研磨面被按压在该研磨用具的表面，在所述研磨用具的研磨垫片的接缝中，仅对所述板状体的边部进入一侧的交界边部施加所述斜面。

板状体的研磨面由施加在研磨用具与板状体之间的研磨压力、因自转、公转、及摆动产生的相对移动动作来研磨。