[发明专利]研磨用具无效
| 申请号： | 201180059114.8 | 申请日： | 2011-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN103260826A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 中谷嘉孝;前田伸一郎;古田充;秋山秀;横田稔 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B7/24 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 用具 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨用具，在研磨平台上铺满多张研磨垫片而构成，其中，
对所述研磨垫片的表面与端面的交界边部施加斜面。
2.根据权利要求1所述的研磨用具，其中，
所述研磨垫片经由弹性体的密封材料而由所述研磨平台真空吸附保持。
3.根据权利要求2所述的研磨用具，其中，
所述密封材料的压缩率为10～40%，其中，所述压缩率遵照JISL1021-6的附件1，且设初始载荷为100gf/cm2、设最终载荷为1120gf/cm2。
4.根据权利要求2或3所述的研磨用具，其中，
所述研磨垫片经由研磨垫支承构件而安装在所述密封材料上。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的研磨用具，其中，
相对于所述研磨用具相对移动的板状体的研磨面被按压在该研磨用具的表面，
在所述研磨用具的研磨垫片的接缝中，仅对所述板状体的边部进入一侧的交界边部施加所述斜面。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的研磨用具，其中，
由所述多张研磨垫片构成的研磨垫的厚度方向上的所述斜面的高度为0.5～1.5mm。
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