[发明专利]在碳层上具有钛金属层作为电极材料的电化学生物传感器电极带及其制造方法

权利要求书

1.一种电化学生物传感器电极带，包括：非导电基底；以及在所述基底上形成且用作工作电极和参比电极的至少两个电极，

其中所述电极包括碳层和金属层，

其中所述碳层形成在所述基底上，而所述金属层形成在所述碳层上，

并且所述金属层含有钛。

2.根据权利要求1所述的电化学生物传感器电极带，其中所述碳层和所述金属层通过溅镀形成。

3.根据权利要求1所述的电化学生物传感器电极带，其中所述碳层的厚度为

4.根据权利要求1所述的电化学生物传感器电极带，其中所述金属层的厚度为

5.根据权利要求1所述的电化学生物传感器电极带，其中所述非导电基底是绝缘聚合物膜。

6.根据权利要求1所述的电化学生物传感器电极带，其中所述电化学生物传感器电极带还包括选自识别电极和辅助电极中的至少一个电极。

7.一种用于制造电化学生物传感器电极带的方法，所述方法包括：

制备非导电基底；

在所述基底上形成碳层；

在所形成的碳层上形成含有钛的金属层，从而形成由所述碳层和所述金属层构成的导电层；以及

对所述导电层进行局部蚀刻，以将电极形状图案化。

8.根据权利要求7所述的用于制造电化学生物传感器电极带的方法，其中所述碳层和所述含有钛的金属层通过溅镀形成。

9.根据权利要求8所述的用于制造电化学生物传感器电极带的方法，其中所述溅镀在同一腔室中执行。

10.根据权利要求7所述的用于制造电化学生物传感器电极带的方法，其中所述碳层的厚度为

11.根据权利要求7所述的用于制造电化学生物传感器电极带的方法，其中所述含有钛的金属层的厚度为

12.根据权利要求7所述的用于制造电化学生物传感器电极带的方法，其中所述蚀刻是使用激光来执行的。

13.根据权利要求7所述的用于制造电化学生物传感器电极带的方法，其中通过蚀刻形成的电极是工作电极和参比电极。

14.根据权利要求7所述的用于制造电化学生物传感器电极带的方法，其中除了工作电极和参比电极外，还形成选自辅助电极和识别电极中的至少一个。