[发明专利]太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的制造方法，所述方法包括：

在衬底上形成第一电极层；

在所述第一电极层上形成光吸收层；

在所述光吸收层上形成缓冲层；

对所述缓冲层进行退火以降低所述缓冲层中的氧含量；以及

在所述缓冲层上形成第二电极层。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述退火包括快速热退火（RTA）。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，退火温度在250℃至400℃的范围内。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述退火在真空气氛或氢气氛中进行。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述缓冲层在所述退火之后的氧含量在2%的原子百分比至5%的原子百分比的范围内。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述缓冲层在所述退火之前的氧含量为6%的原子百分比或更多。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述缓冲层通过化学浴沉积（CBD）方法来形成。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述缓冲层包含CdS或ZnS。

9.一种太阳能电池，包括：

衬底；

在所述衬底上的第一电极层；

在所述第一电极层上的光吸收层；

缓冲层，形成在所述光吸收层上并且氧含量在2%的原子百分比至5%的原子百分比的范围内；以及

在所述缓冲层上的第二电极层。

10.根据权利要求9所述的太阳能电池，其中，所述缓冲层包含CdS或ZnS。