[发明专利]显示面板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示面板及其制造方法。“显示面板”例如是液晶显示面板。即使是液晶显示面板以外的显示面板，也能应用本发明。

背景技术

作为具备底栅型TFT元件的显示面板的一种，已知液晶显示面板。该液晶显示面板的一例在特开2005-17926号公报（专利文献1）中示出。在专利文献1中，利用用于形成栅极电极的导电膜形成栅极配线，在与栅极配线正交的方向形成源极配线。在栅极配线的端部形成栅极端子，在源极配线的端部形成源极端子。

用于处理具备底栅型TFT元件的显示面板的各种问题的技术在特开2009-128761号公报（专利文献2）、特开平11-153809号公报（专利文献3）、特开2009-80279号公报（专利文献4）中被提到。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2005-17926号公报

专利文献2：特开2009-128761号公报

专利文献3：特开平11-153809号公报

专利文献4：特开2009-80279号公报

发明内容

发明要解决的问题

作为端子区域的端子，有利用了栅极金属层的栅极端子和利用了源极金属层的源极端子。通常如专利文献1所示，用显示区域的外侧的2边，将多个栅极端子和多个源极端子分别在各边分开排列。但是，还存在沿着显示区域的1个边排列多个栅极端子和多个源极端子两者的情况。下面，在提到显示面板结构中的上下关系时，假定将基板的某侧设为下，向上按顺序层叠。

栅极金属层比栅极绝缘膜靠下侧，源极金属层比栅极绝缘膜靠上侧。栅极端子和栅极端子引出线除了栅极端子表面中的真正用于电连接的部分以外，处于被栅极绝缘膜覆盖的状态，因此，在进行后工序的各种处理时，栅极端子的一部分和栅极端子引出配线被栅极绝缘膜保护。

而源极端子和源极端子引出线比栅极绝缘膜靠上侧，因此，不能被栅极绝缘膜覆盖、保护，容易露出。因此，在进行后工序的各种处理时，源极端子和源极端子引出线有可能损伤、腐蚀或断线。特别是源极端子引出线较细，通常是3～5μm程度的宽度，因此，有可能断线。

因此，本发明的目的在于，提供在通过栅极金属层和源极金属层的组合配置而沿着1个边形成显示面板的外部连接端子的结构中，能保护源极端子引出线的结构及其制造方法。

此外，在此整理各用语的含义。针对在显示区域中矩阵地、平行地延伸多根的配线，将与TFT元件的栅极电极电连接的配线称为“栅极配线”，将与TFT元件的源极电极电连接的配线称为“源极配线”。在端子区域中为了与栅极配线、源极配线中的任一根分别进行某种电连接而形成有多个端子。将利用了栅极金属的端子称为“栅极端子”，将为了引出栅极端子而由栅极金属形成的配线称为“栅极端子引出线”。将利用了源极金属的端子称为“源极端子”，将为了引出源极端子而由源极金属形成的配线称为“源极端子引出线”。不是必须形成栅极端子来进行栅极配线的连接，形成源极端子来进行源极配线的连接。例如，还存在把利用了栅极金属的端子，即栅极端子连接于源极配线的情况。在这种情况下，设有实现在该源极配线和该栅极端子之间电连接的结构。

用于解决问题的方案

为了达到上述目的，基于本发明的显示面板，其具有：包含多个像素的显示区域；俯视时配置在上述显示区域的外侧的端子区域；以及介于上述显示区域和上述端子区域之间的中间区域，上述显示面板具有用于驱动上述像素的驱动元件，上述驱动元件具备：栅极电极；覆盖上述栅极电极的栅极绝缘膜；以及部分地覆盖上述栅极绝缘层的源极电极，在上述端子区域中，由与上述栅极电极同层的栅极金属层形成的多个栅极端子和由与上述源极电极同层的源极金属层形成的多个源极端子在俯视时交替地排列，由上述源极金属层形成的源极端子引出线从上述多个源极端子分别向上述中间区域延伸，在上述中间区域和上述端子区域中，以覆盖上述源极端子引出线的方式设有无机绝缘膜，在上述中间区域中，以覆盖上述无机绝缘膜的方式设有有机绝缘膜，上述端子区域中的上述无机绝缘膜的厚度比上述中间区域中的上述无机绝缘膜的厚度小，上述无机绝缘膜在上述端子区域中具有使上述源极端子的表面的至少一部分露出的开口部。

发明效果