[发明专利]显示面板及其制造方法

权利要求书

1.一种显示面板，其具有：

包含多个像素的显示区域（81）；

俯视时配置在上述显示区域的外侧的端子区域（83）；以及

介于上述显示区域和上述端子区域之间的中间区域（82），

上述显示面板具有用于驱动上述像素的驱动元件，

上述驱动元件具备：栅极电极（21）；覆盖上述栅极电极的栅极绝缘膜（2）；以及部分地覆盖上述栅极绝缘层的源极电极（22），

在上述端子区域中，由与上述栅极电极同层的栅极金属层形成的多个栅极端子（13）和由与上述源极电极同层的源极金属层形成的多个源极端子（14）在俯视时交替地排列，

由上述源极金属层形成的源极端子引出线（16）从上述多个源极端子分别向上述中间区域延伸，

在上述中间区域和上述端子区域中，以覆盖上述源极端子引出线的方式设有无机绝缘膜（5），

在上述中间区域中，以覆盖上述无机绝缘膜的方式设有有机绝缘膜（6），

上述端子区域中的上述无机绝缘膜的厚度比上述中间区域中的上述无机绝缘膜的厚度小，

上述无机绝缘膜在上述端子区域中具有使上述源极端子的表面的至少一部分露出的开口部。

2.一种显示面板，其具有：

包含多个像素的显示区域（81）；

俯视时配置在上述显示区域的外侧的端子区域（83）；以及

介于上述显示区域和上述端子区域之间的中间区域（82），

上述显示面板具有用于驱动上述像素的驱动元件，

上述驱动元件具备：栅极电极（21）；覆盖上述栅极电极的栅极绝缘膜（2）；以及部分地覆盖上述栅极绝缘层的源极电极（22），

在上述端子区域中，由与上述栅极电极同层的栅极金属层形成的多个栅极端子（13）和由与上述源极电极同层的源极金属层形成的多个源极端子（14）在俯视时交替地排列，

由上述源极金属层形成的源极端子引出线（16）从上述多个源极端子分别向上述中间区域延伸，

在上述中间区域中，设有以覆盖上述源极端子引出线的方式形成的无机绝缘膜（5）和以覆盖上述无机绝缘膜的方式形成的有机绝缘膜（6），

上述中间区域包含：上述有机绝缘膜具有第1厚度的中间第1区域（82a）；和配置在上述中间第1区域和上述端子区域之间、上述有机绝缘膜具有比上述第1厚度薄的第2厚度的中间第2区域（82b），

上述无机绝缘膜在上述中间第2区域和上述端子区域的边界处中断，使上述源极端子的表面的至少一部分露出。

3.一种显示面板的制造方法，上述显示面板具有：

包含多个像素的显示区域（81）；

配置在上述显示区域的外侧的端子区域（83）；以及

介于上述显示区域和上述端子区域之间的中间区域（82），

上述显示面板具有用于驱动上述像素的驱动元件，

上述显示面板的制造方法包含如下工序：

在上述基板的表面形成栅极金属层（41）；

对上述栅极金属层进行图案化，形成多个栅极电极、从上述多个栅极电极分别延伸的栅极端子引出线（15）以及与上述栅极端子引出线的端部分别连接的多个栅极端子（13）；

以覆盖上述多个栅极电极和上述栅极端子引出线的方式形成栅极绝缘膜（2）；

以覆盖上述栅极绝缘膜的方式形成源极金属层（42）；

对上述源极金属层进行图案化，形成与上述多个栅极端子交替地排列的多个源极端子（14）和从上述多个源极端子分别延伸的源极端子引出线（16）；

以覆盖上述多个源极端子和上述源极端子引出线的方式形成无机绝缘膜（5）；

以覆盖上述无机绝缘膜的方式形成有机绝缘膜（6）；

用掩模（50）对上述有机绝缘膜进行曝光，上述掩模（50）具有不使光透过的遮光部（51）、使光原样透过的开口部（52）以及与上述遮光部和上述开口部均相邻而使光以比上述开口部低的透射率透过的半色调部（53）；

通过使上述有机绝缘膜显影来形成：上述有机绝缘膜厚的区域即中间区域（82）；和包含上述有机绝缘膜较薄地残留的部分及没有上述有机绝缘膜的部分的端子区域（83）；以及

将上述有机绝缘膜作为掩模来蚀刻上述无机绝缘膜，由此在没有上述有机绝缘膜的部分使上述多个源极端子露出，且在上述端子区域中的上述有机绝缘膜较薄地残留的部分，使上述有机绝缘膜消失而上述无机绝缘膜的厚度与被上述有机绝缘膜覆盖的区域中的上述无机绝缘膜的厚度相比变薄。