[发明专利]活性种供给装置以及表面等处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及对被处理物至少供给自由基等活性种的活性种供给装置、以及具备活性种供给装置并对被处理物的表面等进行处理的表面等处理装置。

背景技术

专利文献1中记载有对放电空间供给处理气体，将在等离子体内生成的活性种提供给被处理物的活性种供给装置以及具备该活性种供给装置的表面等处理装置。

专利文献1：日本发明专利第3686663号

发明内容

在活性种供给装置中，通过至少一对电极间的放电而在放电空间产生等离子体，通过对该放电空间供给处理气体，而使在该等离子体内生成的自由基等活性种等提供给被处理物。

于是，本发明的课题在于改进活性种供给装置和表面等处理装置，例如使得在电极与被处理物之间难以产生放电。

本发明的活性种供给装置被形成为包含设置在设于放电空间的下游侧的活性种流出通路的接地部件。

由于接地部件具有作为避雷针的功能，所以若在放电空间的下游侧的活性种流出通路设置接地部件，则能够使得与工件W之间难以产生放电。

以下例示若干本申请中被认为能够要求专利权的发明的方式，并对其进行说明。

（1）一种活性种供给装置，对放电空间供给处理气体，至少将在等离子体内生成的活性种提供给被处理物。

活性种供给装置是对被处理物至少供给活性种的装置。

所谓活性种是指在等离子体内生成的物体，例如在等离子体内被激发的原子、分子等具有高能量的物体。另外，可以考虑所谓活性种是指电中性的物体。

活性种是指具有通过与被处理物自身、或附着在被处理物的表面的物体（例如有机物）进行反应而将被处理物的表面等改质或将附着的物体除去（清洗）等功能的物体等。

在活性种供给装置中，能够将（a）活性种、和（b）不具有高能量的物体提供给被处理物。不具有高能量的物体是指碰上被处理物的表面也不引起反应的物体，例如不是活性种的物体（例如未被激发的物体、未被活性化的物体等），例如载气等。

另外，在活性种供给装置中，也能够对被处理物供给包含（a）电中性的活性种（中性粒子）、和（b）含有正离子、负离子等电荷粒子而整体为电中性的聚集体的物体。即使对被处理物照射电中性的聚集体，由于被处理物不带电，所以对被处理物的影响也小。

另外，金属材料、陶瓷材料、有机材料等被处理物的材质不限。

（2）该活性种供给装置包含形成放电空间的至少一对电极。

活性种供给装置可以具备一对电极，也可以具有两对以上电极。即，可以具有一个放电空间，也可以具有两个以上放电空间。

放电空间是设于一对电极之间的空间，是为了一对电极间放电而设置的空间。电极设置多对的情况下，放电空间也设置多个，但是多个放电空间分别可以彼此独立，也可以彼此连通（具有彼此共用的空间）。另外，并列地配设三个电极的情况下，可以考虑有两个电极对，可以考虑形成两个放电空间。位于中间的电极可以考虑是构成两个电极对的共用的电极。

（3）该活性种供给装置中，所述多个电极在与所述处理气体向所述放电空间供给的供给方向交叉的方向上隔开间隔而并列配设。

所谓电极有时是指被施加了电压时可能产生放电的电极，有时是指实际上产生放电的电极。

有可能产生放电的电极、产生放电的电极分别有其为电极整体的情况和其为一部分的情况。

例如，有时由于电极整体的形状、覆盖电极的罩的形状、保持电极的活性种供给装置主体的结构等一个以上的原因而决定电极整体中有可能产生放电的部分或实际产生放电的部分，这种情况下的产生放电的部分是放电电极部。另外，电极整体为产生放电的部分的情况下，该电极为放电电极。

另一方面，放电原则上在一对电极间发生，一对电极中的一个是放电电极，另一个是相对电极。有时放电电极、相对电极由施加电压的电源装置、电压调节装置的控制方式等预先决定，例如施加交流电压的情况等时，一个电极变为放电电极或相对电极。另外，本发明的说明中，区别放电电极和相对电极的必要性低。因此，在本说明书中，有时称为放电电极或放电电极部而不区别放电电极和相对电极。

另外，电极整体可以大致构成棒状，也可以构成平板状。

另外，多个电极可以以位于一直线上的状态设置，也可以以分别位于多个直线上的状态设置。

另外，所谓放电是指在一对电极间产生的放电。

（4）该活性种供给装置中，各个所述电极构成产生非均匀电场的形状。