[实用新型]一种圆形石英舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种圆形石英舟，属于石英加工领域。

背景技术

晶体硅太阳能电池作为新兴的清洁可再生能源，已经取得越来越广泛的应用，扩散工艺是晶体硅太阳能电池的生产过程的关键工序之一，石英因其材料纯度高、耐高温、耐酸、耐碱而成为制作这种承载装置材料的首选，用石英材料做成的硅片承载装置称为石英舟。

传统石英舟的结构大多采用方形或近似方形的挡板，通过多条连接杆固定连接而成，该形状的石英舟连接杆排布局限性大，对石英舟内的硅片支撑性差，极易造成硅片与石英舟碰撞，造成硅片因崩边而报废。

实用新型内容

本实用新型为解决现有技术问题，提供一种使用效果好的圆形石英舟。

本实用新型的技术方案是：一种圆形石英舟，包括位于两端的挡板，所述挡板之间固定设置有至少三根连接杆，且所有连接杆的横截面均处于同一个圆周上；所述挡板为圆形，所述连接杆的外侧设置有支撑杆。

作为优选，所述连接杆的内侧设置有槽。

作为优选，所述连接杆设置有四根，呈梯形排列上。

作为优选，所述挡板中间设置有抓取孔。

综上所述，本实用新型中所有连接杆的横截面处于同一圆周上，当硅片放入时，硅片与所有连接杆同时接触，分散了硅片与连接杆接触时的碰撞力，减小了硅片崩边的机率；同时，圆形的石英舟可侧置，便于取放硅片。

附图说明

图1为本实用新型实施例一结构示意图；

图2为本实用新型实施例二结构示意图。

图中，1、挡板，2、连接杆，3、支撑杆，4、槽，5、抓取孔。

具体实施方式

下面以实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例一：

一种圆形石英舟，如图1所示，包括两块分别位于两端圆形的挡板1，挡板1中间设置有抓取孔5，两块挡板1之间固定设置有四根连接杆2，呈梯形排列，且所有连接杆2的横截面均处于同一个圆周上，连接杆2的内侧设置有槽4，连接杆的外侧设置有支撑杆3。

其中，两块挡板1和四根连接杆2围成载物腔，连接杆2面向载物腔的一侧视为内侧，反之则视为外侧。

工艺开始前，将硅片插入槽4内，使用石英舟周围工具，插入抓取孔5内，提起石英舟，送入扩散炉；当工艺完成后，使用石英舟周围工具，插入抓取孔5内，提起石英舟，取出扩散炉，将硅片从槽4中取出。

实施例二：

与实施例一的不同之处在于，如图2所示，两块挡板1之间固定设置有五根连接杆2。